1. Metrologie mit Synchrotronstrahlung, Teil II (Auszug aus: PTB-Mitteilungen 2014, Band 124, Heft 4. ISSN 0030-834X)
- Author
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Scholze, Frank, Laubis, Christian, Barboutis, Annett, Buchholz, Christian, Fischer, Andreas, Puls, Jana, Stadelhoff, Christian, Haase, Anton, Krumrey, Michael, Soltwisch, Victor, Wernecke, Jan, Garcia-Diez, Raul, Gollwitzer, Christian, Langner, Stefanie, Müller, Matthias, Gerlach, Martin, Holfelder, Ina, Hönicke, Philipp, Lubeck, Janin, Nutsch, Andreas, Pollakowski, Beatrix, Streeck, Cornelia, Unterumsberger, Rainer, Weser, Jan, Beckhoff, Burkhard, Hermann, Peter, Hoehl, Arne, Hornemann, Andrea, Kästner, Bernd, Müller, Ralph, Ulm, Gerhard, Kolbe, Michael, Darlatt, Erik, Fliegauf, Rolf, Kaser, Hendrik, Gottwald, Alexander, Richter, Mathias, and Physikalisch-Technische Bundesanstalt (PTB)
- Subjects
Energiematerialien ,Weltrauminstrumente ,Nanostrukturen ,EUV-Lithographie (EUVL) ,dimensionelle Nanometrologie ,Fundamentalparameter ,elektronische Struktur ,EUVL-Photomasken ,NEXAFS ,nanostrukturierte Oberflächen ,EUV-Strahlung ,Halbleiterbauelemente ,Ellipsometrie ,Elektronenspektroskopie ,EUVL ,organische Halbleiter ,GISAXS ,referenzprobenfreie Röntgenfluoreszenzanalytik ,Spiegel ,EUV-Scatterometrie ,Nanopartikel ,Nanoschichten ,Röntgenkleinwinkelstreuung ,SAXS ,THz-Detektoren ,optische Konstanten ,Optik ,IR-Nahfeldmikroskopie ,kohärente Synchrotronstrahlung ,Elementgehalte ,Reflektometrie ,chemische Speziation ,Biomoleküle ,FTIR-Spektroskopie - Abstract
PTB-Mitteilungen. Band 124 (2014), Heft 4. ISSN 0030-834X
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- 2014
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