Search

Your search keyword '"Lethien, Christophe"' showing total 110 results
Start Over Author "Lethien, Christophe" Language english
110 results on '"Lethien, Christophe"'

5. Emerging Capacitive Materials for On-Chip Electronics Energy Storage Technologies.

Author

Jolayemi, Bukola, Buvat, Gaetan, Roussel, Pascal, and Lethien, Christophe

Subjects
POROUS electrodes, ELECTRODE performance, POWER resources, ENERGY density, POWER density
Abstract

Miniaturized energy storage devices, such as electrostatic nanocapacitors and electrochemical micro-supercapacitors (MSCs), are important components in on-chip energy supply systems, facilitating the development of autonomous microelectronic devices with enhanced performance and efficiency. The performance of the on-chip energy storage devices heavily relies on the electrode materials, necessitating continuous advancements in material design and synthesis. This review provides an overview of recent developments in electrode materials for on-chip MSCs and electrostatic (micro-/nano-) capacitors, focusing on enhancing energy density, power density, and device stability. The review begins by discussing the fundamental requirements for electrode materials in MSCs, including high specific surface area, good conductivity, and excellent electrochemical stability. Subsequently, various categories of electrode materials are evaluated in terms of their charge storage mechanisms, electrochemical performance, and compatibility with on-chip fabrication processes. Furthermore, recent strategies to enhance the performance of electrode materials are discussed, including nanostructuring, doping, heteroatom incorporation, hybridization with other capacitive materials, and electrode configurations. [ABSTRACT FROM AUTHOR]

Published
2024
Full Text
View/download PDF

10. Control of microstructure and composition of reactively sputtered vanadium nitride thin films based on hysteresis curves and application to microsupercapacitors.

Author

Lebreton, Allan, Besland, Marie-Paule, Jouan, Pierre-Yves, Signe, Tatiana, Mannequin, Cédric, Richard-Plouet, Mireille, Le Granvalet, Maryline, Lethien, Christophe, Brousse, Thierry, and Barbé, Jérémy

Subjects
THIN films, VANADIUM, MAGNETRON sputtering, MICROSTRUCTURE, NITRIDES, DC sputtering, HYSTERESIS
Abstract

Vanadium nitride (VN) thin films were prepared by reactive DC magnetron sputtering of a vanadium target using nitrogen as reactive gas. The structural, morphological, and compositional evolution of these films is described based on hysteresis diagrams plotting the sputtering power versus nitrogen flow rate. These diagrams, measured across various cathode voltages and discharge pressures, unveil three distinct deposition regimes: metallic, intermediate, and contaminated. The microstructure of the films was found to be closely linked to the deposition regime, ranging from dense and amorphous in the metallic regime to porous and crystalline in the contaminated regime, while the composition varies from vanadium-rich to near-stoichiometric VN. Sputtered VN thin films used as electrodes for microsupercapacitors were investigated by cyclic voltammetry. Results highlight that the intermediate deposition regime, characterized by high crystallinity and porosity, yields the highest capacitance values, above 900 F cm−3. Such high volumetric capacitance is attributed to the highly porous structure and large specific surface area. In addition, in these deposition conditions, films are composed of crystalline VN with a significant amount of amorphous VOx on the surface, which allow these thin film electrodes to behave both as current collectors and pseudocapacitive electrodes. This work gives detailed insights into VN thin film microstructure and composition in reactive sputtering based on hysteresis curves. It emphasizes how we could use these curves to target specific microstructure, composition, and eventually achieve functional properties. In particular, these findings have important implications for the design and optimization of microstructured electrodes for energy storage applications. [ABSTRACT FROM AUTHOR]

Published
2024
Full Text
View/download PDF

12. High Throughput Characterization Methods at the Wafer Scale for Sputtered Films Used in Micro-Supercapacitors and Li-Ion Micro-Batteries

Author

Roussel, Pascal, Jrondi, Aiman, Dinh, Khac Huy, Jolayemi, Bukola, Leviel, Clément, Hallot, Maxime, Lethien, Christophe, Unité de Catalyse et Chimie du Solide - UMR 8181 (UCCS), Université d'Artois (UA)-Centrale Lille-Institut de Chimie du CNRS (INC)-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 (IEMN), Centrale Lille-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF)-JUNIA (JUNIA), Université catholique de Lille (UCL)-Université catholique de Lille (UCL), Circuits Systèmes Applications des Micro-ondes - IEMN (CSAM - IEMN ), Université catholique de Lille (UCL)-Université catholique de Lille (UCL)-Centrale Lille-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF)-JUNIA (JUNIA), Institut Universitaire de France (IUF), Ministère de l'Education nationale, de l’Enseignement supérieur et de la Recherche (M.E.N.E.S.R.), and Renatech Network

Subjects
[PHYS]Physics [physics], [SPI]Engineering Sciences [physics]
Abstract

International audience; The emergence of new miniaturized and autonomous electronic technologies leads to a request of efficient microdevices for energy storage. The development of thin film Li-ion micro-batteries or micro-supercapacitors is an interesting way to power connected sensors, as their manufacturing method is compatible with the techniques used in the microelectronics industry. These miniaturized electrochemical energy storage devices can thus be easily integrated into embedded electronics. Most of the time, for the development of such energy microsources at the laboratory scale (and more specifically at the electrode level), studies are conducted on small pieces of substrates where the area of tested electrode material is restricted. It is however important to study the homogeneity of thin film electrodes, not only on small pieces of substrates, but at the wafer scale, in the case of an industrial transfer of more fundamental researches led at the laboratory scale (i.e the upscaling of the technology, needed for the collective fabrication of hundreds/thousands of microdevices on a single wafer). We have developed a complete mapping strategy of thin film electrodes characterization at the wafer level on different techniques, such as X-ray diffraction, X-ray fluorescence, scanning electron microscopy, Raman spectroscopy, electrical conductivity and more especially for this project, an electrochemical mapping. By combining the information given by all these complimentary techniques, we can correlate the differences of properties observed for different zones of the wafer. For instance, in some vanadium nitrides for micro-supercapacitors applications, a strong variation of the preferred orientation (as measured by an XRD mapping of the full wafer) is evidenced, depending on the scanning area of the wafer, without any change of the chemical composition and of the electrochemical performance. It is not the case for some spinel-type compounds (i.e. sputtered LiNi0.5Mn1.5O4 films) used as the positive electrode for Li-ion micro-batteries, that behave differently depending on the preferred orientation (i.e compounds with privileged conduction path in the structure).

Published
2023

16. Pulvérisation réactive pour le dépôt de nitrure de vanadium comme électrodes de micro-supercondensateurs performants et stables en cyclage

Author

Jrondi, A., Lethien, Christophe, Roussel, Pascal, Blanchard, F., Deresmes, D., Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 (IEMN), Centrale Lille-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF)-JUNIA (JUNIA), Université catholique de Lille (UCL)-Université catholique de Lille (UCL), Circuits Systèmes Applications des Micro-ondes - IEMN (CSAM - IEMN ), Université catholique de Lille (UCL)-Université catholique de Lille (UCL)-Centrale Lille-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF)-JUNIA (JUNIA), Unité de Catalyse et Chimie du Solide - UMR 8181 (UCCS), Université d'Artois (UA)-Centrale Lille-Institut de Chimie du CNRS (INC)-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), Plateforme de Caractérisation Multi-Physiques - IEMN (PCMP - IEMN), no information, Fédération Française des Matériaux, PCMP PCP, and Renatech Network

Subjects
[SPI]Engineering Sciences [physics]
Abstract

National audience

Published
2022

17. Electrochemical Lithium Insertion into TiO2 Anatase ALD Thin Films for Li‐Ion Microbatteries: An Atomic‐Scale Picture Provided by Raman Spectroscopy.

Author

Bhatia, Ankush, Hallot, Maxime, Leviel, Clément, Roussel, Pascal, Pereira‐Ramos, Jean‐Pierre, Lethien, Christophe, and Baddour‐Hadjean, Rita

Subjects
THIN films, TITANIUM dioxide, ATOMIC layer deposition, LITHIUM, SPECTRUM analysis, LITHIUM cells
Abstract

Electrochemical lithium (de)intercalation in an atomic layer deposited (ALD) TiO2 anatase thin film deposited on a planar Si /Al2O3/Pt substrate is investigated by Raman spectroscopy. An initial discharge capacity of 63 µAh cm−2 µm−1 (0.5 Li+ mole−1) is reached at C/10 rate, which increases up to 77 µAh cm−2 µm−1 upon further cycles. An excellent capacity retention is achieved over at least 100 cycles, showing the good adherence of the ALD thin film. Raman spectra of LixTiO2 (0 ≤ x ≤ 0.5) thin film electrodes point to the nucleation of the orthorhombic lithiated titanate (LT) Li0.5TiO2 phase from x = 0.1. This LT phase coexists with tetragonal TiO2 in the 0.1 ≤ x ≤ 0.4 composition domain to be pure for x = 0.5. A fully reversible transformation from orthorhombic LT to tetragonal TiO2 is observed upon the charge. The high quality of the Raman spectra allows identifying for the first time 12 modes in the 100–800 cm−1 region for the electrochemically formed LT phase. Furthermore, an appropriate Raman spectra analysis allows a reliable and quantitative determination of the thin film composition during discharge and charge. These results illustrate Raman spectroscopy is a powerful probe to scrutinize the Li insertion/extraction mechanism in TiO2 thin films. [ABSTRACT FROM AUTHOR]

Published
2023
Full Text
View/download PDF

19. Major Improvement in the Cycling Ability of Pseudocapacitive Vanadium Nitride Films for Micro‐Supercapacitor.

Author

Jrondi, Aiman, Buvat, Gaetan, Pena, Francisco De La, Marinova, Maya, Huvé, Marielle, Brousse, Thierry, Roussel, Pascal, and Lethien, Christophe

Subjects
SUPERCAPACITOR electrodes, ELECTRON energy loss spectroscopy, MAGNETRON sputtering, VANADIUM, THIN film deposition, NITRIDES, CYCLING competitions
Abstract

Vanadium nitride film made using a thin film deposition technique is a promising electrode material for micro‐supercapacitor applications owing to its high electrical conductivity and high volumetric and surface capacitance values in aqueous electrolyte. Nevertheless, the cycling stability has to be improved to deliver good capacitance during a large number of cycles. Here, it is shown that vanadium nitride films made by a magnetron sputtering deposition method exhibit remarkable cycling stability (high capacitance retention value after 150 000 cycles), ultra‐high rate capability (75% of the initial capacitance at 1.6 V s−1), while providing high surface capacitance values (≈1.4 F cm−2) and very low ageing of the VN electrodes (no loss of performance after 13 months). Additionally, new findings regarding the location of vanadium oxides species responsible for the charge storage mechanism in pseudocapacitive VN films are revealed by transmission electron microscopy electron energy‐loss spectroscopy analyses at the nanoscale. [ABSTRACT FROM AUTHOR]

Published
2023
Full Text
View/download PDF

20. X-ray microdiffraction study of LiMn1.5 Ni0.5O4 thin films deposited by sputtering for Li-ion micro-batteries application

Author

Leviel, Clément, Bhatia, Ankush, Hallot, Maxime, Blanchard, Florent, Ramos, Jean-Pierre Peireira, Baddour-Hadjean, Rita, Lethien, Christophe, Roussel, Pascal, Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 (IEMN), Centrale Lille-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF)-JUNIA (JUNIA), Université catholique de Lille (UCL)-Université catholique de Lille (UCL), Réseau sur le stockage électrochimique de l'énergie (RS2E), Université de Nantes (UN)-Aix Marseille Université (AMU)-Université de Haute-Alsace (UHA) Mulhouse - Colmar (Université de Haute-Alsace (UHA))-Collège de France (CdF (institution))-Université de Picardie Jules Verne (UPJV)-Ecole Nationale Supérieure de Chimie de Montpellier (ENSCM)-Ecole Nationale Supérieure de Chimie de Paris - Chimie ParisTech-PSL (ENSCP), Université Paris sciences et lettres (PSL)-Université Paris sciences et lettres (PSL)-Université de Pau et des Pays de l'Adour (UPPA)-Institut de Chimie du CNRS (INC)-Université de Montpellier (UM)-Sorbonne Université (SU)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Institut National Polytechnique (Toulouse) (Toulouse INP), Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées-Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées-Institut polytechnique de Grenoble - Grenoble Institute of Technology (Grenoble INP ), Université Grenoble Alpes (UGA)-Université Grenoble Alpes (UGA), Unité de Catalyse et Chimie du Solide - UMR 8181 (UCCS), Université d'Artois (UA)-Centrale Lille-Institut de Chimie du CNRS (INC)-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), Circuits Systèmes Applications des Micro-ondes - IEMN (CSAM - IEMN ), Université catholique de Lille (UCL)-Université catholique de Lille (UCL)-Centrale Lille-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF)-JUNIA (JUNIA), Institut de Chimie et des Matériaux Paris-Est (ICMPE), Institut de Chimie du CNRS (INC)-Université Paris-Est Créteil Val-de-Marne - Paris 12 (UPEC UP12)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), Renatech Network, CMNF, RS2E, Université de Toulouse (UT)-Université de Toulouse (UT)-Institut polytechnique de Grenoble - Grenoble Institute of Technology (Grenoble INP ), and Galopin, Elisabeth

Subjects
[PHYS]Physics [physics], LiMn1.5Ni0.5O4, [SPI]Engineering Sciences [physics], [SPI] Engineering Sciences [physics], thin film, Micro-battery, X-ray micro-diffraction, ComputingMilieux_MISCELLANEOUS, Magnetron sputtering, [PHYS] Physics [physics]
Abstract

National audience

Published
2021

23. Sputtered multi-cationic oxides thin-films, a new approach for micro-supercapacitors electrodes

Author

Buvat, Gaëtan, Jolayemi, Bukola, Iadecola, Antonella, Blanchard, Florent, Brousse, Thierry, Roussel, Pascal, Lethien, Christophe, Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 (IEMN), Centrale Lille-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF)-JUNIA (JUNIA), Université catholique de Lille (UCL)-Université catholique de Lille (UCL), Circuits Systèmes Applications des Micro-ondes - IEMN (CSAM - IEMN ), Université catholique de Lille (UCL)-Université catholique de Lille (UCL)-Centrale Lille-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF)-JUNIA (JUNIA), Unité de Catalyse et Chimie du Solide - UMR 8181 (UCCS), Université d'Artois (UA)-Centrale Lille-Institut de Chimie du CNRS (INC)-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), Institut des Matériaux Jean Rouxel (IMN), Université de Nantes - UFR des Sciences et des Techniques (UN UFR ST), Université de Nantes (UN)-Université de Nantes (UN)-Ecole Polytechnique de l'Université de Nantes (EPUN), Université de Nantes (UN)-Université de Nantes (UN)-Institut de Chimie du CNRS (INC)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), Réseau sur le stockage électrochimique de l'énergie (RS2E), Université de Nantes (UN)-Aix Marseille Université (AMU)-Université de Haute-Alsace (UHA) Mulhouse - Colmar (Université de Haute-Alsace (UHA))-Collège de France (CdF (institution))-Université de Picardie Jules Verne (UPJV)-Ecole Nationale Supérieure de Chimie de Montpellier (ENSCM)-Ecole Nationale Supérieure de Chimie de Paris - Chimie ParisTech-PSL (ENSCP), Université Paris sciences et lettres (PSL)-Université Paris sciences et lettres (PSL)-Université de Pau et des Pays de l'Adour (UPPA)-Institut de Chimie du CNRS (INC)-Université de Montpellier (UM)-Sorbonne Université (SU)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Institut National Polytechnique (Toulouse) (Toulouse INP), Université de Toulouse (UT)-Université de Toulouse (UT)-Institut polytechnique de Grenoble - Grenoble Institute of Technology (Grenoble INP ), Université Grenoble Alpes (UGA)-Université Grenoble Alpes (UGA), no information, Renatech Network, CMNF, and Université de Lille, LillOA

Subjects
[CHIM.INOR] Chemical Sciences/Inorganic chemistry, [CHIM.INOR]Chemical Sciences/Inorganic chemistry, ComputingMilieux_MISCELLANEOUS
Abstract

International audience

Published
2021

26. Probing the Electrochemical Li Insertion–Extraction Mechanism in Sputtered LiNi0.5Mn1.5O4 Thin Film Cathode for Li‐Ion Microbattery.

Author

Bhatia, Ankush, Leviel, Clement, Hallot, Maxime, Pereira‐Ramos, Jean‐Pierre, Lethien, Christophe, Roussel, Pascal, and Baddour‐Hadjean, Rita

Subjects
PHASE transitions, THIN films, CATHODES, OXIDATION-reduction reaction, RAMAN spectroscopy, SOLID solutions, THIN layer chromatography
Abstract

Due to its great theoretical capacity (147 mAh g−1) and high operating potential (4.7 V vs Li+/Li), Co‐free spinel LiNi0.5Mn1.5O4 (LNMO) is one of the most promising thin film cathodes allowing designing Li‐ion micro‐batteries with a high specific energy. In this work, the Li extraction–insertion mechanism in sputtered LNMO thin films is investigated by X‐ray diffraction and Raman spectroscopy during the first electrochemical cycle. A one‐step phase transition involving two cubic phases is revealed, consisting of a wide solid solution region (0.3 ≤ x ≤ 1 in LixNMO) and a narrow biphasic domain (0 < x ≤ 0.3). Remarkably, significant variations are observed in the Raman spectra, which are linked to the activity of the Ni redox system at 4.7 V. It is demonstrated that an appropriate analysis of the bands corresponding to pure Ni–O stretching modes leads to an accurate estimation of the electrode states of charge and depth of discharge, which opens the way for a reliable quantification of the self‐discharge phenomenon. The mechanism of Li extraction insertion here pictured for the first time for LNMO thin layers is consistent with their disordered nature and accounts for their good electrochemical performance. [ABSTRACT FROM AUTHOR]

Published
2022
Full Text
View/download PDF

27. Ionic Transport and Charge Distribution in Miniaturized Electrochemical Energy Storage Devices by Modeling Investigation.

Author

Dufil, Yannick, Favier, Frederic, Brousse, Thierry, Lethien, Christophe, Bideau, Jean Le, and Fontaine, Olivier

Subjects
ENERGY storage, FINITE element method
Abstract

Ions are at the core of the mechanism involved in electrochemical energy storage. However, it remains difficult to physically measure the local ionic transport inside working devices. Limiting factors in the local transport in Miniaturized Electrochemical Energy Storage (MEES), especially in 3D Li-ion microbatteries, are investigated using finite element modeling with COMSOL Multiphysics®. This work aims to lay the basements for establishing a relationship between the main limiting factors of Li-ion microbatteries, to provide the critical points for designing the efficient microstructures. Contrary to what was reported in the literature, we demonstrate that the electronic conductivity of the electrodes does not play such a significant role in limiting the performance of a Li-ion microbattery. We show that the main limiting factor is the ionic diffusion inside the electrode, and also the geometry and charge applied to the battery (Crate) which are closely related to ionic diffusion in the electrode. [ABSTRACT FROM AUTHOR]

Published
2022
Full Text
View/download PDF

28. Challenges and prospects of 3D micro-supercapacitors for powering the internet of things: [Invited]

Author

Lethien, Christophe, Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 (IEMN), Centrale Lille-Institut supérieur de l'électronique et du numérique (ISEN)-Université de Valenciennes et du Hainaut-Cambrésis (UVHC)-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF), Circuits Systèmes Applications des Micro-ondes - IEMN (CSAM - IEMN), Centrale Lille-Institut supérieur de l'électronique et du numérique (ISEN)-Université de Valenciennes et du Hainaut-Cambrésis (UVHC)-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF)-Centrale Lille-Institut supérieur de l'électronique et du numérique (ISEN)-Université de Valenciennes et du Hainaut-Cambrésis (UVHC)-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF)-Institut TELECOM/TELECOM Lille1, Institut Mines-Télécom [Paris] (IMT)-Institut Mines-Télécom [Paris] (IMT), Réseau sur le stockage électrochimique de l'énergie (RS2E), Université de Nantes (UN)-Aix Marseille Université (AMU)-Université de Haute-Alsace (UHA) Mulhouse - Colmar (Université de Haute-Alsace (UHA))-Collège de France (CdF (institution))-Université de Picardie Jules Verne (UPJV)-Ecole Nationale Supérieure de Chimie de Montpellier (ENSCM)-Ecole Nationale Supérieure de Chimie de Paris - Chimie ParisTech-PSL (ENSCP), Université Paris sciences et lettres (PSL)-Université Paris sciences et lettres (PSL)-Université de Pau et des Pays de l'Adour (UPPA)-Institut de Chimie du CNRS (INC)-Université de Montpellier (UM)-Sorbonne Université (SU)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Institut National Polytechnique (Toulouse) (Toulouse INP), Université de Toulouse (UT)-Université de Toulouse (UT)-Institut polytechnique de Grenoble - Grenoble Institute of Technology (Grenoble INP ), Université Grenoble Alpes (UGA)-Université Grenoble Alpes (UGA), Renatech Network, and RS2E

Subjects
[SPI]Engineering Sciences [physics]
Abstract

http://2020.cimtec-congress.org/22 invited speakers dans ce seul symposium (20 symposiums)initialement programmé : june 15-19; International audience

Published
2020

29. Structure and electronic properties of pseudocapacitive vanadium nitride films

Author

Marinova, Maya, Huvé, Marielle, Robert, Kevin, Lethien, Christophe, Troadec, David, Roussel, Pascal, Institut Michel Eugène Chevreul - FR 2638 (IMEC), Université d'Artois (UA)-Centrale Lille-Institut de Chimie du CNRS (INC)-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Institut National de Recherche pour l’Agriculture, l’Alimentation et l’Environnement (INRAE), Unité de Catalyse et Chimie du Solide - UMR 8181 (UCCS), Université d'Artois (UA)-Centrale Lille-Institut de Chimie du CNRS (INC)-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 (IEMN), Centrale Lille-Institut supérieur de l'électronique et du numérique (ISEN)-Université de Valenciennes et du Hainaut-Cambrésis (UVHC)-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF), Circuits Systèmes Applications des Micro-ondes - IEMN (CSAM - IEMN), Centrale Lille-Institut supérieur de l'électronique et du numérique (ISEN)-Université de Valenciennes et du Hainaut-Cambrésis (UVHC)-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF)-Centrale Lille-Institut supérieur de l'électronique et du numérique (ISEN)-Université de Valenciennes et du Hainaut-Cambrésis (UVHC)-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF)-Institut TELECOM/TELECOM Lille1, Institut Mines-Télécom [Paris] (IMT)-Institut Mines-Télécom [Paris] (IMT), Réseau sur le stockage électrochimique de l'énergie (RS2E), Université de Nantes (UN)-Aix Marseille Université (AMU)-Université de Haute-Alsace (UHA) Mulhouse - Colmar (Université de Haute-Alsace (UHA))-Collège de France (CdF (institution))-Université de Picardie Jules Verne (UPJV)-Ecole Nationale Supérieure de Chimie de Montpellier (ENSCM)-Ecole Nationale Supérieure de Chimie de Paris - Chimie ParisTech-PSL (ENSCP), Université Paris sciences et lettres (PSL)-Université Paris sciences et lettres (PSL)-Université de Pau et des Pays de l'Adour (UPPA)-Institut de Chimie du CNRS (INC)-Université de Montpellier (UM)-Sorbonne Université (SU)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Institut National Polytechnique (Toulouse) (Toulouse INP), Université de Toulouse (UT)-Université de Toulouse (UT)-Institut polytechnique de Grenoble - Grenoble Institute of Technology (Grenoble INP ), Université Grenoble Alpes (UGA)-Université Grenoble Alpes (UGA), Centrale de Micro Nano Fabrication - IEMN (CMNF - IEMN), Centrale Lille-Institut supérieur de l'électronique et du numérique (ISEN)-Université de Valenciennes et du Hainaut-Cambrésis (UVHC)-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF)-Centrale Lille-Institut supérieur de l'électronique et du numérique (ISEN)-Université de Valenciennes et du Hainaut-Cambrésis (UVHC)-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF), and Renatech Network

Subjects
[CHIM.INOR]Chemical Sciences/Inorganic chemistry, ComputingMilieux_MISCELLANEOUS
Abstract

International audience

Published
2020

31. Three-Dimensional TiO2 Film Deposited by ALD on Porous Metallic Scaffold for 3D Li-Ion Micro-Batteries: A Road towards Ultra-High Capacity Electrode.

Author

Hallot, Maxime, Boyaval, Christophe, Troadec, David, Huvé, Marielle, Karroubi, Lotfi Benali, Patnaik, Sai Gourang, Brousse, Thierry, Roussel, Pascal, Pech, David, and Lethien, Christophe

Subjects
3-D films, TITANIUM dioxide films, ATOMIC layer deposition, ELECTRODE performance, ELECTRODES
Abstract

To power the next generation of miniaturized electronic devices, the energy storage capability of Li-ion micro-batteries has to be significantly improved and the fabrication of high performance 3D electrodes is mandatory. Here we show how to carefully match the design of efficient 3D scaffold based on metallic porous template with the deposition parameters of titanium dioxide films made from thermal Atomic Layer Deposition method for designing efficient 3D electrodes for Li-ion micro-batteries. A 3D electrode made from Pt porous scaffold coated with 150 nm-thick anatase TiO2 film reaches a high surface capacity value up to 1600 μAh.cm−2 at C/12 with a good cycling stability during 100 cycles. [ABSTRACT FROM AUTHOR]

Published
2022
Full Text
View/download PDF

32. In Situ Liquid Electrochemical TEM Investigation of LiMn1.5Ni0.5O4 Thin Film Cathode for Micro‐Battery Applications.

Author

Bhatia, Ankush, Cretu, Sorina, Hallot, Maxime, Folastre, Nicolas, Berthe, Maxime, Troadec, David, Roussel, Pascal, Pereira‐Ramos, Jean‐Pierre, Baddour‐Hadjean, Rita, Lethien, Christophe, and Demortière, Arnaud

Subjects
LIQUID films, FOCUSED ion beams, CATHODES, TRANSMISSION electron microscopes, LIQUIDS, ORGANIC products, THIN films
Abstract

Micro‐batteries are attractive miniaturized energy devices for new Internet of Things applications, but the lack of understanding of their degradation process during cycling hinders improving their performance. Here focused ion beam (FIB)‐lamella from LiMn1.5Ni0.5O4 (LMNO) thin‐film cathode is in situ cycled in a liquid electrolyte inside an electrochemical transmission electron microscope (TEM) holder to analyze structural and morphology changes upon (de)lithiation processes. A high‐quality electrical connection between the platinum (Pt) current collector of FIB‐lamella and the microchip's Pt working electrode is established, as confirmed by local two‐probe conductivity measurements. In situ cyclic voltammetry (CV) experiments show two redox activities at 4.41 and 4.58/4.54 V corresponding to the Ni2+/3+ and Ni3+/4+ couples, respectively. (S)TEM investigations of the cycled thin‐film reveal formation of voids and cracks, loss of contact with current collector, and presence of organic decomposition products. The 4D STEM ASTAR technique highlights the emergence of an amorphization process and a decrease in average grain size from 20 to 10 nm in the in situ cycled electrode. The present findings, obtained for the first time through the liquid electrochemical TEM study, provide several insights explaining the capacity fade of the LMNO thin‐film cathode typically observed upon cycling in a conventional liquid electrolyte. [ABSTRACT FROM AUTHOR]

Published
2022
Full Text
View/download PDF

33. New insights in sputtered transition metal nitride films for on chip micro-supercapacitors

Author

Robert, Kevin, Stiévenard, Didier, Ouendi, Saliha, Douard, Camille, Roussel, Pascal, Brousse, Thierry, Lethien, Christophe, Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 (IEMN), Centrale Lille-Institut supérieur de l'électronique et du numérique (ISEN)-Université de Valenciennes et du Hainaut-Cambrésis (UVHC)-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF), Unité de Catalyse et Chimie du Solide - UMR 8181 (UCCS), Centrale Lille Institut (CLIL)-Université d'Artois (UA)-Centrale Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Institut de Chimie du CNRS (INC)-Université de Lille, Circuits Systèmes Applications des Micro-ondes - IEMN (CSAM - IEMN), Centrale Lille-Institut supérieur de l'électronique et du numérique (ISEN)-Université de Valenciennes et du Hainaut-Cambrésis (UVHC)-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF)-Centrale Lille-Institut supérieur de l'électronique et du numérique (ISEN)-Université de Valenciennes et du Hainaut-Cambrésis (UVHC)-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF)-Institut TELECOM/TELECOM Lille1, Institut Mines-Télécom [Paris] (IMT)-Institut Mines-Télécom [Paris] (IMT), Physique - IEMN (PHYSIQUE - IEMN), Centrale Lille-Institut supérieur de l'électronique et du numérique (ISEN)-Université de Valenciennes et du Hainaut-Cambrésis (UVHC)-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF)-Centrale Lille-Institut supérieur de l'électronique et du numérique (ISEN)-Université de Valenciennes et du Hainaut-Cambrésis (UVHC)-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF), Centrale de Micro Nano Fabrication - IEMN (CMNF - IEMN), Institut des Matériaux Jean Rouxel (IMN), Université de Nantes - UFR des Sciences et des Techniques (UN UFR ST), Université de Nantes (UN)-Université de Nantes (UN)-Ecole Polytechnique de l'Université de Nantes (EPUN), Université de Nantes (UN)-Université de Nantes (UN)-Institut de Chimie du CNRS (INC)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), and Université d'Artois (UA)-Centrale Lille-Institut de Chimie du CNRS (INC)-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)

Subjects
[CHIM.INOR]Chemical Sciences/Inorganic chemistry, ComputingMilieux_MISCELLANEOUS
Abstract

International audience

Published
2019

34. Micro-diffraction study of sputtered LiMn1.5Ni0.5O4 thin films for Li-ion micro-batteries

Author

Leviel, Clement, Hallot, Maxime, Blanchard, Florent, Lethien, Christophe, Roussel, Pascal, Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 (IEMN), Centrale Lille-Institut supérieur de l'électronique et du numérique (ISEN)-Université de Valenciennes et du Hainaut-Cambrésis (UVHC)-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF), Unité de Catalyse et Chimie du Solide - UMR 8181 (UCCS), Centrale Lille Institut (CLIL)-Université d'Artois (UA)-Centrale Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Institut de Chimie du CNRS (INC)-Université de Lille, Circuits Systèmes Applications des Micro-ondes - IEMN (CSAM - IEMN), Centrale Lille-Institut supérieur de l'électronique et du numérique (ISEN)-Université de Valenciennes et du Hainaut-Cambrésis (UVHC)-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF)-Centrale Lille-Institut supérieur de l'électronique et du numérique (ISEN)-Université de Valenciennes et du Hainaut-Cambrésis (UVHC)-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF)-Institut TELECOM/TELECOM Lille1, Institut Mines-Télécom [Paris] (IMT)-Institut Mines-Télécom [Paris] (IMT), and Université d'Artois (UA)-Centrale Lille-Institut de Chimie du CNRS (INC)-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)

Subjects
[CHIM.INOR]Chemical Sciences/Inorganic chemistry, ComputingMilieux_MISCELLANEOUS
Abstract

International audience

Published
2019

35. Nanometer-thick ALD coating on micrometer-thick sputtered LiMn1.5Ni0.5O4 films: a strategy to stabilize the solid/liquid interface?

Author

Hallot, Maxime, Lethien, Christophe, Roussel, Pascal, Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 (IEMN), Centrale Lille-Institut supérieur de l'électronique et du numérique (ISEN)-Université de Valenciennes et du Hainaut-Cambrésis (UVHC)-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF), Circuits Systèmes Applications des Micro-ondes - IEMN (CSAM - IEMN), Centrale Lille-Institut supérieur de l'électronique et du numérique (ISEN)-Université de Valenciennes et du Hainaut-Cambrésis (UVHC)-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF)-Centrale Lille-Institut supérieur de l'électronique et du numérique (ISEN)-Université de Valenciennes et du Hainaut-Cambrésis (UVHC)-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF)-Institut TELECOM/TELECOM Lille1, Institut Mines-Télécom [Paris] (IMT)-Institut Mines-Télécom [Paris] (IMT), Unité de Catalyse et Chimie du Solide - UMR 8181 (UCCS), Centrale Lille Institut (CLIL)-Université d'Artois (UA)-Centrale Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Institut de Chimie du CNRS (INC)-Université de Lille, and Université d'Artois (UA)-Centrale Lille-Institut de Chimie du CNRS (INC)-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)

Subjects
[CHIM.INOR]Chemical Sciences/Inorganic chemistry, ComputingMilieux_MISCELLANEOUS
Abstract

International audience

Published
2018

36. New 3D design for mobile microbatteries

Author

Roussel, Pascal, Brousse, Thierry, Lethien, Christophe, Unité de Catalyse et Chimie du Solide - UMR 8181 (UCCS), Université d'Artois (UA)-Centrale Lille-Institut de Chimie du CNRS (INC)-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 (IEMN), Centrale Lille-Institut supérieur de l'électronique et du numérique (ISEN)-Université de Valenciennes et du Hainaut-Cambrésis (UVHC)-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF), Circuits Systèmes Applications des Micro-ondes - IEMN (CSAM - IEMN), Centrale Lille-Institut supérieur de l'électronique et du numérique (ISEN)-Université de Valenciennes et du Hainaut-Cambrésis (UVHC)-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF)-Centrale Lille-Institut supérieur de l'électronique et du numérique (ISEN)-Université de Valenciennes et du Hainaut-Cambrésis (UVHC)-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF)-Institut TELECOM/TELECOM Lille1, Institut Mines-Télécom [Paris] (IMT)-Institut Mines-Télécom [Paris] (IMT), and Centrale Lille Institut (CLIL)-Université d'Artois (UA)-Centrale Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Institut de Chimie du CNRS (INC)-Université de Lille

Subjects
[CHIM.INOR]Chemical Sciences/Inorganic chemistry, ComputingMilieux_MISCELLANEOUS
Abstract

International audience

Published
2018

39. Vanadium and tungsten nitride thin film electrodes for micro-supercapacitor

Author

Robert, Kevin, Ouendi, Saliha, Douard, Camille, Iadecolla, A., Simon, Pardis, Nuns, Nicolas, Roussel, Pascal, Le Bideau, J., Brousse, Thierry, Lethien, Christophe, Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 (IEMN), Centrale Lille-Institut supérieur de l'électronique et du numérique (ISEN)-Université de Valenciennes et du Hainaut-Cambrésis (UVHC)-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF), Centrale de Micro Nano Fabrication - IEMN (CMNF-IEMN), Centrale Lille-Institut supérieur de l'électronique et du numérique (ISEN)-Université de Valenciennes et du Hainaut-Cambrésis (UVHC)-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF)-Centrale Lille-Institut supérieur de l'électronique et du numérique (ISEN)-Université de Valenciennes et du Hainaut-Cambrésis (UVHC)-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF), Unité de Catalyse et Chimie du Solide - UMR 8181 (UCCS), Centrale Lille Institut (CLIL)-Université d'Artois (UA)-Centrale Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Institut de Chimie du CNRS (INC)-Université de Lille, Circuits Systèmes Applications des Micro-ondes - IEMN (CSAM - IEMN), Centrale Lille-Institut supérieur de l'électronique et du numérique (ISEN)-Université de Valenciennes et du Hainaut-Cambrésis (UVHC)-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF)-Centrale Lille-Institut supérieur de l'électronique et du numérique (ISEN)-Université de Valenciennes et du Hainaut-Cambrésis (UVHC)-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF)-Institut TELECOM/TELECOM Lille1, Institut Mines-Télécom [Paris] (IMT)-Institut Mines-Télécom [Paris] (IMT), and Université d'Artois (UA)-Centrale Lille-Institut de Chimie du CNRS (INC)-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)

Subjects
[CHIM.INOR]Chemical Sciences/Inorganic chemistry, ComputingMilieux_MISCELLANEOUS
Abstract

International audience

Published
2018

40. Further insight in LiMn1.5Ni0.5O4 thin film from planar to 3D all solid state Lithium-ion microbattery

Author

Hallot, Maxime, Roussel, Pascal, Lethien, Christophe, Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 (IEMN), Centrale Lille-Institut supérieur de l'électronique et du numérique (ISEN)-Université de Valenciennes et du Hainaut-Cambrésis (UVHC)-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF), Unité de Catalyse et Chimie du Solide - UMR 8181 (UCCS), Centrale Lille Institut (CLIL)-Université d'Artois (UA)-Centrale Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Institut de Chimie du CNRS (INC)-Université de Lille, Circuits Systèmes Applications des Micro-ondes - IEMN (CSAM - IEMN), Centrale Lille-Institut supérieur de l'électronique et du numérique (ISEN)-Université de Valenciennes et du Hainaut-Cambrésis (UVHC)-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF)-Centrale Lille-Institut supérieur de l'électronique et du numérique (ISEN)-Université de Valenciennes et du Hainaut-Cambrésis (UVHC)-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF)-Institut TELECOM/TELECOM Lille1, Institut Mines-Télécom [Paris] (IMT)-Institut Mines-Télécom [Paris] (IMT), and Université d'Artois (UA)-Centrale Lille-Institut de Chimie du CNRS (INC)-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)

Subjects
[CHIM.INOR]Chemical Sciences/Inorganic chemistry, ComputingMilieux_MISCELLANEOUS
Abstract

International audience

Published
2018

43. A First Outlook of Sputtered FeWO4 Thin Films for Micro-Supercapacitor Electrodes.

Author

Buvat, Gaëtan, Iadecola, Antonella, Blanchard, Florent, Brousse, Thierry, Roussel, Pascal, and Lethien, Christophe

Subjects
THIN films, SUPERCAPACITORS, MAGNETRON sputtering, NEGATIVE electrode, OXIDE coating, SEMICONDUCTOR manufacturing, SUPERCAPACITOR electrodes, OXIDE electrodes
Abstract

The next generation of Internet of Things devices requires micro-supercapacitors operating at high voltage which is difficult to achieve using symmetrical design. Thus, their fabrication in an asymmetric configuration is mandatory. While MnO2 is well-established as positive electrode, the scarcity of existing efficient materials able to be used at the negative side drives the research towards new promising materials. Since few years, a new class of oxide materials, named multicationic oxides, were demonstrated to be attractive solutions as bulk electrodes for electrochemical capacitor. Among them, the wolframite-type FeWO4 oxide was proposed as an interesting negative electrode material for asymmetric FeWO4/MnO2 electrochemical capacitors. The present paper reports for the first time on the successful thin film synthesis of such iron-tungstate oxide films by reactive DC magnetron sputtering, a deposition method widely used in the semiconductor industry to manufacture micro-devices. The pseudocapacitive behaviour documented at the bulk scale is preserved at the thin film level as well, and opens-up the possibility to use FeWO4 in the next generations of micro-supercapacitors. [ABSTRACT FROM AUTHOR]

Published
2021
Full Text
View/download PDF

44. Further insight in sputtered LiMn1.5Ni0.504 thin film for solid state Li-ion microbattery

Author

Hallot, Maxime, Roussel, Pascal, Brousse, Thierry, Lethien, Christophe, Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 (IEMN), Centrale Lille-Institut supérieur de l'électronique et du numérique (ISEN)-Université de Valenciennes et du Hainaut-Cambrésis (UVHC)-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF), Unité de Catalyse et Chimie du Solide - UMR 8181 (UCCS), Centrale Lille Institut (CLIL)-Université d'Artois (UA)-Centrale Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Institut de Chimie du CNRS (INC)-Université de Lille, and Université d'Artois (UA)-Centrale Lille-Institut de Chimie du CNRS (INC)-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)

Subjects
[CHIM.INOR]Chemical Sciences/Inorganic chemistry, ComputingMilieux_MISCELLANEOUS
Abstract

International audience

Published
2017

47. Atomic Layer deposition of thin films materials for 3D solid state Li-ion microbattery

Author

Létiche, Manon, Freixas, Jeremy, Eustache, Étienne, Demortière, Arnaud, Roussel, Pascal, Brousse, Thierry, Lethien, Christophe, Unité de Catalyse et Chimie du Solide - UMR 8181 (UCCS), Centrale Lille Institut (CLIL)-Université d'Artois (UA)-Centrale Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Institut de Chimie du CNRS (INC)-Université de Lille, Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 (IEMN), Centrale Lille-Institut supérieur de l'électronique et du numérique (ISEN)-Université de Valenciennes et du Hainaut-Cambrésis (UVHC)-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF), and Université d'Artois (UA)-Centrale Lille-Institut de Chimie du CNRS (INC)-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)

Subjects
[CHIM.INOR]Chemical Sciences/Inorganic chemistry, ComputingMilieux_MISCELLANEOUS
Abstract

International audience

Published
2016

48. Sputtered LiMn1.5Ni0.5O4 thin film for Li-ion microbattery

Author

Létiche, Manon, Eustache, Étienne, Brousse, Thierry, Declomesnil, Marielle, Lethien, Christophe, Roussel, Pascal, Unité de Catalyse et Chimie du Solide - UMR 8181 (UCCS), Université d'Artois (UA)-Centrale Lille-Institut de Chimie du CNRS (INC)-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 (IEMN), Centrale Lille-Institut supérieur de l'électronique et du numérique (ISEN)-Université de Valenciennes et du Hainaut-Cambrésis (UVHC)-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF), and Centrale Lille Institut (CLIL)-Université d'Artois (UA)-Centrale Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Institut de Chimie du CNRS (INC)-Université de Lille

Subjects
[CHIM.INOR]Chemical Sciences/Inorganic chemistry, ComputingMilieux_MISCELLANEOUS
Abstract

International audience

Published
2016

49. Devices and micro-devices using ionic liquids and ionogel electrolytes

Author

Brachet, Mylène, Eustache, Etienne, Gaboriau, Dorian, Douard, Camille, Bidan, Gérard, Gentile, P., Sadki, Said, Lethien, Christophe, Le Bideau, Jean, Brousse, Thierry, Institut des Matériaux Jean Rouxel (IMN), Université de Nantes - UFR des Sciences et des Techniques (UN UFR ST), Université de Nantes (UN)-Université de Nantes (UN)-Ecole Polytechnique de l'Université de Nantes (EPUN), Université de Nantes (UN)-Université de Nantes (UN)-Institut de Chimie du CNRS (INC)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), Silicon Nanoelectronics Photonics and Structures (SiNaps), PHotonique, ELectronique et Ingénierie QuantiqueS (PHELIQS), Université Grenoble Alpes [2016-2019] (UGA [2016-2019])-Institut de Recherche Interdisciplinaire de Grenoble (IRIG), Direction de Recherche Fondamentale (CEA) (DRF (CEA)), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Direction de Recherche Fondamentale (CEA) (DRF (CEA)), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Université Grenoble Alpes [2016-2019] (UGA [2016-2019])-Institut de Recherche Interdisciplinaire de Grenoble (IRIG), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA), Laboratoire d'Electronique Moléculaire Organique et Hybride (LEMOH), SYstèmes Moléculaires et nanoMatériaux pour l’Energie et la Santé (SYMMES), Institut de Chimie du CNRS (INC)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Grenoble Alpes [2016-2019] (UGA [2016-2019])-Institut de Recherche Interdisciplinaire de Grenoble (IRIG), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Institut de Chimie du CNRS (INC)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Grenoble Alpes [2016-2019] (UGA [2016-2019])-Institut de Recherche Interdisciplinaire de Grenoble (IRIG), Institut Nanosciences et Cryogénie (INAC), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Université Grenoble Alpes [2016-2019] (UGA [2016-2019]), Synthèse, Structure et Propriétés de Matériaux Fonctionnels (STEP), Université Grenoble Alpes [2016-2019] (UGA [2016-2019]), Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 (IEMN), Centrale Lille-Institut supérieur de l'électronique et du numérique (ISEN)-Université de Valenciennes et du Hainaut-Cambrésis (UVHC)-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF), Université de Nantes (UN)-Université de Nantes (UN)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Institut de Chimie du CNRS (INC)-Ecole Polytechnique de l'Université de Nantes (EPUN), Université de Nantes (UN)-Université de Nantes (UN), Institut de Chimie du CNRS (INC)-Université Grenoble Alpes [2016-2019] (UGA [2016-2019])-Institut de Recherche Interdisciplinaire de Grenoble (IRIG), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Institut de Chimie du CNRS (INC)-Université Grenoble Alpes [2016-2019] (UGA [2016-2019])-Institut de Recherche Interdisciplinaire de Grenoble (IRIG), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), and Université Grenoble Alpes [2016-2019] (UGA [2016-2019])-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)

Subjects
[SPI.NRJ]Engineering Sciences [physics]/Electric power, [PHYS.COND.CM-MS]Physics [physics]/Condensed Matter [cond-mat]/Materials Science [cond-mat.mtrl-sci], [SPI.NANO]Engineering Sciences [physics]/Micro and nanotechnologies/Microelectronics, ComputingMilieux_MISCELLANEOUS, [SPI.MAT]Engineering Sciences [physics]/Materials
Abstract

International audience

Published
2016

50. Step conformal solid electrolyte deposited by ALD on robust 3D silicon scaffold for on chip Li-ion microbattery

Author

Létiche, Manon, Eustache, Étienne, Freixas, Jeremy, Morgenroth, Laurence, Tilmant, Pascal, Roussel, Pascal, Brousse, Thierry, Lethien, Christophe, Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 (IEMN), Centrale Lille-Institut supérieur de l'électronique et du numérique (ISEN)-Université de Valenciennes et du Hainaut-Cambrésis (UVHC)-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF), Unité de Catalyse et Chimie du Solide - UMR 8181 (UCCS), Centrale Lille Institut (CLIL)-Université d'Artois (UA)-Centrale Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Institut de Chimie du CNRS (INC)-Université de Lille, and Université d'Artois (UA)-Centrale Lille-Institut de Chimie du CNRS (INC)-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)

Subjects
[CHIM.INOR]Chemical Sciences/Inorganic chemistry, ComputingMilieux_MISCELLANEOUS
Abstract

International audience

Published
2016

Catalog

Books, media, physical & digital resources
See catalog results