Search

Μία από τις βασικότερες διαγνωστικές μεθόδους για το πλάσμα είναι αυτή των ηλεκτροστατικών καθετήρων. Η μέθοδος αυτή συνίσταται στην εμβάπτιση ενός καθετήρα σε περιβάλλον πλάσματος, την πόλωση του σε διάφορες τάσεις, τόσο αρνητικές όσο και θετικές, και την μέτρηση του συλλεγόμενου ρεύματος. Από τη μορφή της καμπύλης τάσης- ρεύματος εξάγονται πολύ σημαντικές πληροφορίες για το πλάσμα. Στην παρούσα εργασία παρουσιάζονται, πρώτον, η ανάπτυξη ενός αυτοματοποιημένου συστήματος –κατασκευασμένου εξολοκλήρου από απλά ηλεκτρονικά εξαρτήματα- για την πόλωση του καθετήρα και την καταγραφή των απαραίτητων δεδομένων και δεύτερον, η κατασκευή μίας πειραματικής διάταξης για την παραγωγή επαγωγικού πλάσματος ραδιοσυχνοτήτων (13.56 MHz), στην οποία έγινε δοκιμή της σωστής λειτουργίας της συσκευής. One of the most fundamental techniques for plasma characterization is the use of electrostatic probes. This method involves the insertion of a small metallic electrode into the plasma, the biasing of this electrode to various voltages, both negative and positive, and the measurement of the collected current. From the voltage–current characteristic curve one can calculate important parameters of the plasma. This work is devoted to: a) the development of a fully automated system (made entirely with modern electronic parts) for probe biasing and current data acquisition on a personal computer, and b) the construction of an experimental setup for the generation of inductively coupled plasmas (13.56 MHz), where the aforementioned system is tested.