Im Rahmen dieser Arbeit wurden elektrostatisch angesteuerte RF-MEMS Schalter mit kapazitiver Kopplung entwickelt, die Prozesstemperaturen von 400°C und darüber hinaus ohne Verlust der Funktionstüchtigkeit überstehen. Als Funktionsmaterial wird einerseits eine AlSiCu und andererseits eine WTi Legierung verwendet. Das Schalterprinzip beruht auf dem Wanderkeileffekt, der einen gekrümmten Biegebalken nutzt. Diese Verbiegung weg von der Substratoberfläche, die durch einen wohldefinierten intrinsischen Spannungszustand hervorgerufen wird, ermöglicht die Realisierung eines Schalters mit hoher Isolation bei gleichzeitig moderater Pull-In-Spannung. Die Kenntnis des inneren Spannungszustands der AlSiCu bzw. WTi Schichten und dessen Zusammenhang mit den verwendeten Abscheideparametern sind somit von besonderer Bedeutung und werden daher näher untersucht. Die realisierten AlSiCu RF-MEMS Schalter zeigen abhängig von den gewählten Abscheideparametern Auslenkungen zwischen 248 und 300 µm bei einer Länge von 506 µm. Die prozentuale Auslenkung bezogen auf den Ursprungswert beträgt für Ausheiztemperaturen von bis zu 400°C zwischen 20 und 100% bzw. 98 und 138%. Bei gleicher Länge ist die Auslenkung der WTi basierten Schalter mit 66 bis 113 µm deutlich kleiner. Dort treten, abhängig von Bauform und Abscheidbedingung, bis 400°C Abweichungen bis 9% bzw. bis 32% von der ursprünglichen Auslenkung auf. Aluminium-Silizium-Kupfer Schalter zeigen im Frequenzbereich von 20 bis 35 GHz eine Einfügedämpfung von -0,31 bis -0,4 dB und eine Sperrdämpfung von -22,0 bis -14,0 dB. Die entsprechenden Werte der Wolfram-Titan Schalter betragen -0,2 bis -0,5 dB für die Einfüge- und -19,0 bis -11,7 dB für die Sperrdämpfung.