1. New capacitor parametric test methodology for process issues control
- Author
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Manceau, Jean-Philippe, Bajolet, Aurélie, Cremer, S., Quoirin, M., Bruyère, S., Sylvestre, A., Gonon, Patrice, Garcia, Sylvie, Laboratoire de Génie Electrique de Grenoble (G2ELab), Université Joseph Fourier - Grenoble 1 (UJF)-Institut polytechnique de Grenoble - Grenoble Institute of Technology (Grenoble INP )-Institut Polytechnique de Grenoble - Grenoble Institute of Technology-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), ST Microélectronic, Laboratoire des technologies de la microélectronique (LTM), Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Université Joseph Fourier - Grenoble 1 (UJF)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), ST Microélectronics, and Université Joseph Fourier - Grenoble 1 (UJF)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)
- Subjects
[SPI.NRJ]Engineering Sciences [physics]/Electric power ,ComputingMilieux_MISCELLANEOUS ,[SPI.NRJ] Engineering Sciences [physics]/Electric power - Abstract
International audience
- Published
- 2007