1. Détermination expérimentale des courbes de dispersion des Ondes Acoustiques de Surface (SAW) se propageant dans des multicouches métalliques déposées sur substrat de silicium
- Author
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Dammak, Yosra, Mounier, Denis, Yaakoubi, N., Thomas, Jean-Hugh, Ben Ghozlen, Mohamed Hedi, Laboratoire d'Acoustique de l'Université du Mans (LAUM), Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Le Mans Université (UM), Laboratoire de physique de l'état condensé (LPEC), Le Mans Université (UM)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), Laboratoire de Physique des Matériaux, Faculté de Science de Sfax, Université de Sfax - University of Sfax, Institut des Molécules et Matériaux du Mans (IMMM), Le Mans Université (UM)-Institut de Chimie du CNRS (INC)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), Ecole Nationale Supérieure d'Ingénieurs du Mans (ENSIM), Laboratoire des Matériaux Composites céramiques et Polymères [Université de Sfax] (LaMaCoP), and Université de Sfax
- Subjects
ComputingMilieux_MISCELLANEOUS ,[PHYS.MECA.ACOU]Physics [physics]/Mechanics [physics]/Acoustics [physics.class-ph] - Abstract
International audience; L’ étude présentée consiste à déterminer les courbes de dispersion des modes de Rayleigh se propageant dans des multicouches Ni/Cu et Ni/CST/Cu déposées sur silicium pour deux orientations cristallographiques (100) et (111). Les modes de Rayleigh sont excités par un laser impulsionnel subnanoseconde et détectés par une sonde laser interférométrique. Les courbes de dispersion mesurées sont comparées aux courbes calculées à partir du formalisme de Stroh. Une technique d’estimation de l’épaisseur des multicouches est également proposée.
- Published
- 2016