1. Investigation of the thermal stability of Mg/Co periodic multilayers for EUV applications
- Author
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Haochuan Li, Angela Giglia, Nicola Mahne, S.-K. Zhou, Michael Walls, Jean-Michel André, K. Le Guen, Philippe Jonnard, Jie Zhu, M.-H. Hu, Zhanshan Wang, Imène Esteve, Stefano Nannarone, Christian Meny, Laboratoire de Chimie Physique - Matière et Rayonnement ( LCPMR ), Université Pierre et Marie Curie - Paris 6 ( UPMC ) -Centre National de la Recherche Scientifique ( CNRS ), Institute of Precision Optical Engineering. ( IPOE ), Tongji University, Institut de Physique et Chimie des Matériaux de Strasbourg ( IPCMS ), Université de Strasbourg ( UNISTRA ) -Centre National de la Recherche Scientifique ( CNRS ) -Matériaux et nanosciences d'Alsace, Université de Strasbourg ( UNISTRA ) -Université de Haute-Alsace (UHA) Mulhouse - Colmar ( Université de Haute-Alsace (UHA) ) -Institut National de la Santé et de la Recherche Médicale ( INSERM ) -Centre National de la Recherche Scientifique ( CNRS ) -Université de Strasbourg ( UNISTRA ) -Université de Haute-Alsace (UHA) Mulhouse - Colmar ( Université de Haute-Alsace (UHA) ) -Institut National de la Santé et de la Recherche Médicale ( INSERM ) -Centre National de la Recherche Scientifique ( CNRS ) -Réseau nanophotonique et optique, Université de Strasbourg ( UNISTRA ) -Université de Haute-Alsace (UHA) Mulhouse - Colmar ( Université de Haute-Alsace (UHA) ) -Centre National de la Recherche Scientifique ( CNRS ) -Université de Strasbourg ( UNISTRA ), CNR - Istituto Officina dei Materiali ( IOM ), Consiglio Nazionale delle Ricerche [Roma] ( CNR ), Institut de minéralogie et de physique des milieux condensés ( IMPMC ), Université Pierre et Marie Curie - Paris 6 ( UPMC ) -IPG PARIS-Université Paris Diderot - Paris 7 ( UPD7 ) -Centre National de la Recherche Scientifique ( CNRS ), Laboratoire de Physique des Solides ( LPS ), Université Paris-Sud - Paris 11 ( UP11 ) -Centre National de la Recherche Scientifique ( CNRS ), Laboratoire de Chimie Physique - Matière et Rayonnement (LCPMR), Université Pierre et Marie Curie - Paris 6 (UPMC)-Institut de Chimie du CNRS (INC)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), Institute of Precision Optical Engineering [Shangai] (IPOE), Institut de Physique et Chimie des Matériaux de Strasbourg (IPCMS), Université de Strasbourg (UNISTRA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Matériaux et Nanosciences Grand-Est (MNGE), Université de Strasbourg (UNISTRA)-Université de Haute-Alsace (UHA) Mulhouse - Colmar (Université de Haute-Alsace (UHA))-Institut National de la Santé et de la Recherche Médicale (INSERM)-Institut de Chimie du CNRS (INC)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université de Strasbourg (UNISTRA)-Université de Haute-Alsace (UHA) Mulhouse - Colmar (Université de Haute-Alsace (UHA))-Institut National de la Santé et de la Recherche Médicale (INSERM)-Institut de Chimie du CNRS (INC)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Réseau nanophotonique et optique, Université de Strasbourg (UNISTRA)-Université de Haute-Alsace (UHA) Mulhouse - Colmar (Université de Haute-Alsace (UHA))-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université de Strasbourg (UNISTRA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), CNR Istituto Officina dei Materiali (IOM), National Research Council of Italy | Consiglio Nazionale delle Ricerche (CNR), Institut de minéralogie et de physique des milieux condensés (IMPMC), Université Pierre et Marie Curie - Paris 6 (UPMC)-Université Paris Diderot - Paris 7 (UPD7)-Institut de Physique du Globe de Paris (IPG Paris)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), Laboratoire de Physique des Solides (LPS), Université Paris-Sud - Paris 11 (UP11)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Institut de Chimie du CNRS (INC)-Université Pierre et Marie Curie - Paris 6 (UPMC), Université de Strasbourg (UNISTRA)-Matériaux et nanosciences d'Alsace (FMNGE), Institut de Chimie du CNRS (INC)-Université de Strasbourg (UNISTRA)-Université de Haute-Alsace (UHA) Mulhouse - Colmar (Université de Haute-Alsace (UHA))-Institut National de la Santé et de la Recherche Médicale (INSERM)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Institut de Chimie du CNRS (INC)-Université de Strasbourg (UNISTRA)-Université de Haute-Alsace (UHA) Mulhouse - Colmar (Université de Haute-Alsace (UHA))-Institut National de la Santé et de la Recherche Médicale (INSERM)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Réseau nanophotonique et optique, Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université de Strasbourg (UNISTRA)-Université de Haute-Alsace (UHA) Mulhouse - Colmar (Université de Haute-Alsace (UHA))-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université de Strasbourg (UNISTRA), Consiglio Nazionale delle Ricerche [Roma] (CNR), Université Pierre et Marie Curie - Paris 6 (UPMC)-IPG PARIS-Université Paris Diderot - Paris 7 (UPD7)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), and Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Paris-Sud - Paris 11 (UP11)
- Subjects
Materials science ,Annealing (metallurgy) ,Scanning electron microscope ,Extreme ultraviolet lithography ,Mg ,Analytical chemistry ,FOS: Physical sciences ,02 engineering and technology ,01 natural sciences ,Co ,0103 physical sciences ,Scanning transmission electron microscopy ,General Materials Science ,Thermal stability ,Emission spectrum ,010302 applied physics ,Condensed Matter - Materials Science ,[PHYS.PHYS.PHYS-OPTICS]Physics [physics]/Physics [physics]/Optics [physics.optics] ,electron energy loss spectroscopy ,[ PHYS.PHYS.PHYS-OPTICS ] Physics [physics]/Physics [physics]/Optics [physics.optics] ,multilayer ,Electron energy loss spectroscopy ,Materials Science (cond-mat.mtrl-sci) ,General Chemistry ,x-ray emission spectroscopy ,[ PHYS.COND.CM-GEN ] Physics [physics]/Condensed Matter [cond-mat]/Other [cond-mat.other] ,EUV reflectivity ,021001 nanoscience & nanotechnology ,3. Good health ,nuclear magnetism resonance spectroscopy ,Condensed Matter - Other Condensed Matter ,Chemical state ,[PHYS.COND.CM-GEN]Physics [physics]/Condensed Matter [cond-mat]/Other [cond-mat.other] ,scanning transmission electron microscopy ,interface ,annealing ,0210 nano-technology ,scanning electron microscopy ,Physics - Optics ,Other Condensed Matter (cond-mat.other) ,Optics (physics.optics) - Abstract
We present the results of the characterization of Mg/Co periodic multilayers and their thermal stability for the EUV range. The annealing study is performed up to a temperature of 400\degree C. Images obtained by scanning transmission electron microscopy and electron energy loss spectroscopy clearly show the good quality of the multilayer structure. The measurements of the EUV reflectivity around 25 nm (~49 eV) indicate that the reflectivity decreases when the annealing temperature increases above 300\degreeC. X-ray emission spectroscopy is performed to determine the chemical state of the Mg atoms within the Mg/Co multilayer. Nuclear magnetic resonance used to determine the chemical state of the Co atoms and scanning electron microscopy images of cross sections of the Mg/Co multilayers reveal changes in the morphology of the stack from an annealing temperature of 305\degreee;C. This explains the observed reflectivity loss., Comment: Published in Applied Physics A: Materials Science \& Processing Published at http://www.springerlink.com.chimie.gate.inist.fr/content/6v396j6m56771r61/ 21 pages
- Published
- 2011
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