1. Improvement of TiN thin film properties deposited by Atomic Layer Deposition
- Author
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Ihara, Kou, Lemaneger, Maxime, Cardin, Julien, Labbé, Christophe, Murata Integrated Passive Solutions SAS, Nanomatériaux, Ions et Métamatériaux pour la Photonique (NIMPH), Centre de recherche sur les Ions, les MAtériaux et la Photonique (CIMAP - UMR 6252), Université de Caen Normandie (UNICAEN), Normandie Université (NU)-Normandie Université (NU)-École Nationale Supérieure d'Ingénieurs de Caen (ENSICAEN), Normandie Université (NU)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Institut de Recherche sur les Matériaux Avancés (IRMA), Normandie Université (NU)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Université de Rouen Normandie (UNIROUEN), Normandie Université (NU)-Institut national des sciences appliquées Rouen Normandie (INSA Rouen Normandie), Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Normandie Université (NU)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Université de Rouen Normandie (UNIROUEN), Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Normandie Université (NU)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université de Caen Normandie (UNICAEN), Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Normandie Université (NU)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), and GdR RAFALD
- Subjects
[PHYS.PHYS.PHYS-COMP-PH]Physics [physics]/Physics [physics]/Computational Physics [physics.comp-ph] ,[SPI.ELEC]Engineering Sciences [physics]/Electromagnetism ,[PHYS.PHYS.PHYS-OPTICS]Physics [physics]/Physics [physics]/Optics [physics.optics] ,MESH: Atomic layer deposition, ALD, TiN, thin film ,[SPI.OPTI]Engineering Sciences [physics]/Optics / Photonic ,[PHYS.COND.CM-MS]Physics [physics]/Condensed Matter [cond-mat]/Materials Science [cond-mat.mtrl-sci] ,[CHIM.MATE]Chemical Sciences/Material chemistry ,[SPI.NANO]Engineering Sciences [physics]/Micro and nanotechnologies/Microelectronics ,[SPI.MAT]Engineering Sciences [physics]/Materials - Abstract
International audience
- Published
- 2022