1. Technological bricks development for the vertical integration of a Modulator onto a VCSEL for high-speed communications
- Author
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Ludovic Marigo-Lombart, Alexandre Arnoult, Stephane Calvez, Christophe Viallon, Olivier Gauthier-Lafaye, Antoine Monmayrant, Aurélie Lecestre, Laurent Mazenq, Jean Baptiste Doucet, Alexandre Rumeau, Thienpont, H., Panajotov, K., Guilhem Almuneau, Équipe Photonique (LAAS-PHOTO), Laboratoire d'analyse et d'architecture des systèmes (LAAS), Université Toulouse - Jean Jaurès (UT2J)-Université Toulouse 1 Capitole (UT1), Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées-Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Toulouse III - Paul Sabatier (UT3), Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées-Institut National des Sciences Appliquées - Toulouse (INSA Toulouse), Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Institut National Polytechnique (Toulouse) (Toulouse INP), Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées-Université Toulouse - Jean Jaurès (UT2J)-Université Toulouse 1 Capitole (UT1), Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées, Service Techniques et Équipements Appliqués à la Microélectronique (LAAS-TEAM), Équipe Microondes et Opto-microondes pour Systèmes de Télécommunications (LAAS-MOST), Service Instrumentation Conception Caractérisation (LAAS-I2C), Department of Applied Physics and Photonics [Brussels] (TONA), Vrije Universiteit Brussel (VUB), Université Toulouse Capitole (UT Capitole), Université de Toulouse (UT)-Université de Toulouse (UT)-Institut National des Sciences Appliquées - Toulouse (INSA Toulouse), Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Université de Toulouse (UT)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Université Toulouse - Jean Jaurès (UT2J), Université de Toulouse (UT)-Université Toulouse III - Paul Sabatier (UT3), Université de Toulouse (UT)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Institut National Polytechnique (Toulouse) (Toulouse INP), Université de Toulouse (UT)-Université Toulouse Capitole (UT Capitole), and Université de Toulouse (UT)
- Subjects
[SPI.OPTI]Engineering Sciences [physics]/Optics / Photonic ,[SPI.NANO]Engineering Sciences [physics]/Micro and nanotechnologies/Microelectronics ,[SPI.MAT]Engineering Sciences [physics]/Materials - Abstract
National audience; The vertical integration of a Modulator onto a mesa-structure VCSEL would allows to go beyond the physical limit of the carrier dynamics for direct modulation. However, this double mesa structure monolithically integrated requires three electrodes and a high frequency injection design optimization. This paper relates the different technological improvements to achieve the static and high frequency operation of such a device.
- Published
- 2019