1. A Suspended Silicon Terahertz platform with low loss waveguide and high Q Photonic Crystal cavities
- Author
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Benjamin Walter, Marc Faucher, Jean-Francois Lampin, Guillaume Ducournau, Elias Akiki, Mathias Vanwolleghem, E. Mairiaux, Bart Kuyken, Mattias Verstuyft, Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520 (IEMN), Ecole Centrale de Lille-Institut supérieur de l'électronique et du numérique (ISEN)-Université de Valenciennes et du Hainaut-Cambrésis (UVHC)-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Laboratoire International associé sur les phénomènes Critiques et Supercritiques en électronique fonctionnelle, acoustique et fluidique (LIA LICS/LEMAC), Ecole Centrale de Lille-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF)-Ecole Centrale de Lille-Université de Lille-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF), Photonics Research Group, Department of Information Technology (INTEC), Ghent University [Belgium] (UGENT)-Ghent University [Belgium] (UGENT), Institut d'électronique fondamentale (IEF), Université Paris-Sud - Paris 11 (UP11)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 (IEMN), Centrale Lille-Institut supérieur de l'électronique et du numérique (ISEN)-Université de Valenciennes et du Hainaut-Cambrésis (UVHC)-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF), Universiteit Gent = Ghent University [Belgium] (UGENT)-Universiteit Gent = Ghent University [Belgium] (UGENT), Photonique THz - IEMN (PHOTONIQ THz - IEMN), Centrale Lille-Institut supérieur de l'électronique et du numérique (ISEN)-Université de Valenciennes et du Hainaut-Cambrésis (UVHC)-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF)-Centrale Lille-Institut supérieur de l'électronique et du numérique (ISEN)-Université de Valenciennes et du Hainaut-Cambrésis (UVHC)-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF), Vmicro SAS (Vmicro), Photonique THz - IEMN (PHOTONIQUE THz - IEMN), Universiteit Gent = Ghent University (UGENT)-Universiteit Gent = Ghent University (UGENT), Universiteit Gent = Ghent University (UGENT), Nano and Microsystems - IEMN (NAM6 - IEMN), and NONE FOUND.
- Subjects
Silicon ,Materials science ,Loss measurement ,Optical resonators ,Terahertz radiation ,Physics::Medical Physics ,Physics::Optics ,chemistry.chemical_element ,Photoacoustic imaging in biomedicine ,02 engineering and technology ,01 natural sciences ,7. Clean energy ,Waveguide (optics) ,law.invention ,[SPI]Engineering Sciences [physics] ,020210 optoelectronics & photonics ,Etching (microfabrication) ,law ,0202 electrical engineering, electronic engineering, information engineering ,Cavity resonators ,ComputingMilieux_MISCELLANEOUS ,Photonic crystal ,business.industry ,010401 analytical chemistry ,0104 chemical sciences ,Optical waveguides ,Etching ,chemistry ,Optical cavity ,[SPI.OPTI]Engineering Sciences [physics]/Optics / Photonic ,Optoelectronics ,Optical losses ,business - Abstract
International audience; A high Q optical resonator and ultra-low losses of a silicon suspended waveguide, are experimentally measured and presented, in order to demonstrate the working of a designed photoacoustic terahertz gas sensor presented in our previous work.
- Published
- 2019
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