1. Substrate Integrated Waveguide Bandpass Filters implemented on Silicon Interposer for Terahertz Applications
- Author
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Mehmet Keynak, Anne-Laure Franc, Gaetan Prigent, Matthias Wietstruck, Équipe Microondes et Opto-microondes pour Systèmes de Télécommunications (LAAS-MOST), Laboratoire d'analyse et d'architecture des systèmes (LAAS), Université Toulouse - Jean Jaurès (UT2J)-Université Toulouse 1 Capitole (UT1), Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées-Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Toulouse III - Paul Sabatier (UT3), Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées-Institut National des Sciences Appliquées - Toulouse (INSA Toulouse), Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Institut National Polytechnique (Toulouse) (Toulouse INP), Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées-Université Toulouse - Jean Jaurès (UT2J)-Université Toulouse 1 Capitole (UT1), Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées, Groupe de Recherche en Electromagnétisme (LAPLACE-GRE), LAboratoire PLasma et Conversion d'Energie (LAPLACE), Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Toulouse III - Paul Sabatier (UT3), Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées-Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées-Institut National Polytechnique (Toulouse) (Toulouse INP), Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Toulouse III - Paul Sabatier (UT3), Innovations for High Performance Microelectronics (IHP), Université Toulouse Capitole (UT Capitole), Université de Toulouse (UT)-Université de Toulouse (UT)-Institut National des Sciences Appliquées - Toulouse (INSA Toulouse), Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Université de Toulouse (UT)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Université Toulouse - Jean Jaurès (UT2J), Université de Toulouse (UT)-Université Toulouse III - Paul Sabatier (UT3), Université de Toulouse (UT)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Institut National Polytechnique (Toulouse) (Toulouse INP), Université de Toulouse (UT)-Université Toulouse Capitole (UT Capitole), Université de Toulouse (UT), Université Toulouse III - Paul Sabatier (UT3), and Université de Toulouse (UT)-Université de Toulouse (UT)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Institut National Polytechnique (Toulouse) (Toulouse INP)
- Subjects
Materials science ,Silicon ,Terahertz radiation ,business.industry ,020208 electrical & electronic engineering ,Si-based Integrated Passive Devices ,chemistry.chemical_element ,Filters ,020206 networking & telecommunications ,02 engineering and technology ,Substrate (electronics) ,law.invention ,Reduction (complexity) ,[SPI.ELEC]Engineering Sciences [physics]/Electromagnetism ,Resonator ,chemistry ,Band-pass filter ,law ,0202 electrical engineering, electronic engineering, information engineering ,Insertion loss ,Optoelectronics ,[SPI.NANO]Engineering Sciences [physics]/Micro and nanotechnologies/Microelectronics ,SIW ,business ,Waveguide - Abstract
International audience; This paper deals with the design of Substrate Integrated Waveguide (SIW) bandpass filter for D-band (140 GHz) and terahertz (280 GHz and 420 GHz) applications. The filters are implemented in High Resistivity (HR) Silicon interposer technology provided by IHP foundry using Through Silicon Vias (TSV). Filters with 3 dB relative bandwidth of 5% and 10% are designed. A comparison of the filters performance is made for the different frequency range. It evidences the interest of SIW technology in sub-millimeter wave domain towards the resonator quality factor increase and, therefore, insertion loss reduction for filters.
- Published
- 2020