Bahoumina, P., Hallil, H., Pieper, K., Lachaud, J., Rebière, D., Corinne Dejous, Abdelghani, A., Kamel Frigui, Stéphane Bila, Baillargeat, D., Zhang, Q., Coquet, P., Pichonat, E., Happy, H., Laboratoire de l'intégration, du matériau au système (IMS), Université Sciences et Technologies - Bordeaux 1-Institut Polytechnique de Bordeaux-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), Laboratoire des Composites Thermostructuraux (LCTS), Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Snecma-SAFRAN group-Université de Bordeaux (UB)-Institut de Chimie du CNRS (INC)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA), Centre d'Etudes et d'Expertise sur les Risques, l'Environnement, la Mobilité et l'Aménagement - Direction Centre-Est (Cerema Direction Centre-Est), Centre d'Etudes et d'Expertise sur les Risques, l'Environnement, la Mobilité et l'Aménagement (Cerema), Systèmes RF (XLIM-SRF), XLIM (XLIM), Université de Limoges (UNILIM)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université de Limoges (UNILIM)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), Shanghai Inst Opt & Fine Mech, Key Lab Mat Sci & Technol High Power Lasers, Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 (IEMN), Centrale Lille-Institut supérieur de l'électronique et du numérique (ISEN)-Université de Valenciennes et du Hainaut-Cambrésis (UVHC)-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF), Carbon-IEMN (CARBON-IEMN), Centrale Lille-Institut supérieur de l'électronique et du numérique (ISEN)-Université de Valenciennes et du Hainaut-Cambrésis (UVHC)-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF)-Centrale Lille-Institut supérieur de l'électronique et du numérique (ISEN)-Université de Valenciennes et du Hainaut-Cambrésis (UVHC)-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF), Université Sciences et Technologies - Bordeaux 1 (UB)-Institut Polytechnique de Bordeaux-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), CNRS International - NTU - Thales Research Alliance (CINTRA), THALES [France]-Nanyang Technological University [Singapour]-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), Université de Bordeaux (UB)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Institut de Chimie du CNRS (INC)-Snecma-SAFRAN group-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), Centrale Lille-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF)-JUNIA (JUNIA), Université catholique de Lille (UCL)-Université catholique de Lille (UCL), Carbon - IEMN (CARBON - IEMN), The authors are grateful to the French National Research Agency for support under project ANR-13-BS03-0010 andthe French RENATECH network (French National Nanofabrication Platform), as well as the French Embassy of Singapore (Merlion project)., Renatech Network, ANR-13-BS03-0010,CAMUS,Microcapteurs de gaz ultrasensibles à transduction micro-onde et matériaux carbonés.(2013), Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Institut Polytechnique de Bordeaux-Université Sciences et Technologies - Bordeaux 1, and CINTRA CNRS/NTU/THALES, UMI 3288