1. Self-identification algorithm for zeolite-based thermal capacity gas sensor
- Author
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Hussein Awala, S. Inoue, A. Mita-Tixier, Yoshio Mita, Didier Robbes, Svetlana Mintova, Maxime Harnois, Corentin Jorel, Mathieu Pouliquen, C. Radu, O. De Sagazan, Eric Lebrasseur, Julien Grand, Yuki Okamoto, Kentaro Yamada, Matthieu Denoual, Laboratoire d'automatique de Caen (LAC), École Nationale Supérieure d'Ingénieurs de Caen (ENSICAEN), Normandie Université (NU)-Normandie Université (NU)-Université de Caen Normandie (UNICAEN), Normandie Université (NU), Equipe Electronique - Laboratoire GREYC - UMR6072, Groupe de Recherche en Informatique, Image et Instrumentation de Caen (GREYC), Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-École Nationale Supérieure d'Ingénieurs de Caen (ENSICAEN), Normandie Université (NU)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-École Nationale Supérieure d'Ingénieurs de Caen (ENSICAEN), Laboratory for Integrated Micro Mechatronics Systems (LIMMS), Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-The University of Tokyo (UTokyo), Laboratoire catalyse et spectrochimie (LCS), Normandie Université (NU)-Normandie Université (NU)-Institut de Chimie du CNRS (INC)-Université de Caen Normandie (UNICAEN), Institut d'Électronique et des Technologies du numéRique (IETR), Nantes Université (NU)-Université de Rennes 1 (UR1), Université de Rennes (UNIV-RENNES)-Université de Rennes (UNIV-RENNES)-Institut National des Sciences Appliquées - Rennes (INSA Rennes), Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Université de Rennes (UNIV-RENNES)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-CentraleSupélec-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), The University of Tokyo (UTokyo), Institut d'Electronique et de Télécommunications de Rennes ( IETR ), Université de Nantes ( UN ) -Université de Rennes 1 ( UR1 ), Université de Rennes ( UNIV-RENNES ) -Université de Rennes ( UNIV-RENNES ) -Institut National des Sciences Appliquées - Rennes ( INSA Rennes ) -CentraleSupélec-Centre National de la Recherche Scientifique ( CNRS ), Denain Anzin Minéraux, National Institute for Plasma and Radiation Physics ( NILPRP ), Centre de recherche, Groupe de Recherche en Informatique, Image, Automatique et Instrumentation de Caen ( GREYC ), Université de Caen Normandie ( UNICAEN ), Normandie Université ( NU ) -Normandie Université ( NU ) -Ecole Nationale Supérieure d'Ingénieurs de Caen ( ENSICAEN ), Normandie Université ( NU ) -Centre National de la Recherche Scientifique ( CNRS ) -Université de Caen Normandie ( UNICAEN ), Normandie Université ( NU ) -Centre National de la Recherche Scientifique ( CNRS ), Laboratoire catalyse et spectrochimie ( LCS ), Franche-Comté Électronique Mécanique, Thermique et Optique - Sciences et Technologies ( FEMTO-ST ), Université de Technologie de Belfort-Montbeliard ( UTBM ) -Ecole Nationale Supérieure de Mécanique et des Microtechniques ( ENSMM ) -Centre National de la Recherche Scientifique ( CNRS ) -Université de Franche-Comté ( UFC ), Institute for Material Research ( IMR ), Tohoku University [Sendai], Institute for Solid State Physics, The University of Tokyo, Université de Nantes (UN)-Université de Rennes 1 (UR1), Université de Caen Normandie (UNICAEN), Normandie Université (NU)-Normandie Université (NU)-École Nationale Supérieure d'Ingénieurs de Caen (ENSICAEN), Normandie Université (NU)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université de Caen Normandie (UNICAEN), Normandie Université (NU)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), The University of Tokyo (UTokyo)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), Normandie Université (NU)-Institut de Chimie du CNRS (INC)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), Université de Nantes (UN)-Université de Rennes (UR)-Institut National des Sciences Appliquées - Rennes (INSA Rennes), Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-CentraleSupélec-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS), and intelligente Semiconductor Microsystem Laboratory (iSML)
- Subjects
Materials science ,Silicon ,chemistry.chemical_element ,zeolites ,02 engineering and technology ,engineering.material ,01 natural sciences ,Heat capacity ,thermal capacity gas sensor ,010309 optics ,Condensed Matter::Materials Science ,Coating ,0103 physical sciences ,Thermal ,[ SPI ] Engineering Sciences [physics] ,system identification algorithm ,Electrical and Electronic Engineering ,[SPI.NANO]Engineering Sciences [physics]/Micro and nanotechnologies/Microelectronics ,Zeolite ,ComputingMilieux_MISCELLANEOUS ,[ PHYS ] Physics [physics] ,Atmospheric pressure ,Extraction (chemistry) ,021001 nanoscience & nanotechnology ,Condensed Matter Physics ,Microstructure ,Electronic, Optical and Magnetic Materials ,chemistry ,Hardware and Architecture ,engineering ,0210 nano-technology ,Algorithm - Abstract
International audience; We demonstrate a new operation mode of thermal gas sensor based on thermal capacity extraction with identification algorithm. The system is a silicon microstructure covered with zeolites operated at constant temperature while stimulated by heat pseudo-random sequence. The proposed detection principle is demonstrated at room temperature and atmospheric pressure through the detection of gas water molecules with an hydrophilic FAU-type zeolite coating. The identification algorithm is a continuous-time closed-loop identification algorithm based on the instrumental variable principle.
- Published
- 2018