1. Optical and electrophysical properties of doped with scandium thin zinc oxide films obtained by laser deposition
- Author
-
Bosak, Nikolai Aleksandrovich, Chumakov, Aleksandr Nikitich, Shevchenok, Aleksandr Arkadevich, Baran, Liudmila Vladimirovna, Karoza, Anatolii Grigorevich, Maliutina-Bronskaia, Viktoriia Vladimirovna, Raichenok, Tamara Frolovna, and Sugak, M. G.
- Subjects
электрофизические характеристики ,the structure of thin films ,thin films ,высокочастотное лазерное воздействие ,спектры люминесценции ,тонкие пленки ,оксид цинка ,zinc oxide ,electrophysical characteristics ,структура тонких пленок ,high-frequency laser irradiation ,luminescence spectra - Abstract
Nanostructured thin films on a silicon substrate were obtained using a high-frequency pulse-periodic f-10-15 kHz laser action at a wavelength y = 1.064 µm, a power density q = 85 MW/cm 2, and a pressure in a vacuum chamber p = 2*10-2 mm Hg on zinc oxide ceramics doped with scandium oxide. The morphology of the obtained films was studied using atomic force microscopy. Методом высокочастотного импульсно-периодического (f -10-15 кГц) лазерного воздействия с длиной волны y = 1.064 мкм и плотностью мощности q = 85 МВт/см 2 на керамику из оксида цинка, легированную оксидом скандия, при давлении в вакуумной камере p = 2*10-2 мм рт. ст. получены наноструктурированные тонкие пленки на кремниевой подложке. Изучена морфология полученных пленок с помощью атомно-силовой микроскопии.
- Published
- 2020