Nano boyutta çalışan makineler, sağlık ve biyomedikal tarama için önemli bir teknolojik fırsat sunmaktadır. En son teknolojiye sahip bu nano makineler, geniş titreşim genliklerinde kontrolü için mühendislik araçları mevcut olmadığından dolayı genellikle küçük titreşim genliklerinde çalıştırılır.Nanoelektromekanik Sistemler (NEMS), büyük biyomoleküller ve nanopartiküllerin kütle spektrometrisini gerçekleştirmek için umut verici bir teknoloji olarak ortaya çıkmıştır. Nanopartiküller, nanoteknoloji alanında büyük bir öneme sahiptir, çünkü bunlar erken dönemde potansiyel kirlenmeleri göstermek veya kanser tedavisi için ilaç taşıyıcı olarak görev yapmak için kullanılabilinir. Nano boyuttaki nesneler NEMS sensörüne tek tek indiğinde, sensörün rezonans frekansında ağırlıklarına orantılı olarak çözülebilir kaymalar yaratırlar. NEMS sensörlerinin çalıştığı aralık, genellikle faz kilitli döngülerin frekans izlemesine dayanan yüksek hassasiyetli şemaların kolayca kullanılamadığı, nonlineerite başlangıcı ile sınırlıdır. Bu çalışmada, lineer olmayan rejimde çalışarak ve nano parçacıkların sebeb olduğu frekans kaymalarını hızlı ve hassas bir şekilde ölçmek için bir ölçüm mimarisi geliştirdik. Altın nano partiküllerin kütlesini tek tek karakterize etmek için bu mimariyi kullandık ve aynı nanopartiküllerin lineer kütle algılamaya dayalı bağımsız ölçümlerini yaparak sonuçları doğruladık. Tekniğin uygulanabilirliği test edildikten sonra, doğrusal olmayan rejimde sıralı olarak çalışan iki modu kullanarak yaklaşık beş yüz nano parçacığı ayrı ayrı inceleyerek 20 nm altın nanoparçacık numunesinin kütle spektrumunu elde ettik. Burada kullanılan teknik sınırlı bir dinamik aralığa sahip olan küçük nanomekanik yapılar için kullanılabilir. Machines working at the nanoscale dimensions offer an important technological opportunity for healthcare and biomedical screening. State-of-the-art nano-machines are usually operated at small displacements, since engineering tools for their control at large vibration amplitudes have so far been absent. Nanoelectromechanical Systems (NEMS) have emerged as a promising technology for performing the mass spectrometry of large biomolecules and nanoparticles. Nanoparticles constitute an important family in the nanotechnology toolbox, because they indicate potential pollutions early on, or can be designed to act as drug carriers for cancer therapy. As nanoscale objects land on NEMS sensor one by one, they induce resolvable shifts in the resonance frequency of the sensor proportional to their weight. The operational regime of NEMS sensors is often limited by the onset-of-nonlinearity, beyond which the highly sensitive schemes based on frequency tracking by phase-locked loops cannot be readily used. Here, we develop a measurement architecture to operate at the nonlinear regime and measure frequency shifts induced by analytes in a rapid and sensitive manner. We used this architecture to individually characterize the mass of gold nanoparticles and verified the results by performing independent measurements of the same nanoparticles based on linear mass sensing. Once the feasibility of the technique is established, we have obtained the mass spectrum of a 20 nm gold nanoparticle sample by individually recording about five hundred single particle events using two modes working sequentially in the nonlinear regime. The technique obtained here can be used for thin nanomechanical structures which possess a limited dynamic range. 77