Back to Search
Start Over
Struktura tankih filmova slitina srebra i volframa
- Publication Year :
- 2007
-
Abstract
- Tanki filmovi slitina potpuno nemješljivog binarnog sistema Ag-W pripravljeni su u širokom rasponu sastava magnetronskom kodepozicijom srebra i volframa. Brzina depozicije na podloge (staklo, korund, safir, mono-Si) pri sobnoj temperaturi bila je oko 0, 33 nm/s, a konačna debljina filmova bila je oko 0, 5 m. Ispitan je utjecaj tlaka radnog plina, te dodatka kisika odnosno aluminija na strukturu filma. Kemijski sastava filma određen je RBS metodom, a struktura je ispitivana XRD, GISAXS i SEM tehnikama. U ispitanom rasponu sastava Ag94W6-Ag12W88 nije dobiven potpuno amorfni film. Prezasićena čvrsta otopina Al(W) sa fcc strukturom formira se pri
- Subjects :
- Ag-W
tanki film
struktura
Subjects
Details
- Language :
- English
- Database :
- OpenAIRE
- Accession number :
- edsair.57a035e5b1ae..cb41fd28be1f09a659020970938adf53