Back to Search Start Over

Struktura tankih filmova slitina srebra i volframa

Authors :
Radić, Nikola
Dubček, Pavo
Ristić, Mira
Musić, Svetozar
Grötzschel, Rainer
Skoko, Željko
Bernstorff, Sigrid
Šetina, Janez
Kovač, Janez
Publication Year :
2007

Abstract

Tanki filmovi slitina potpuno nemješljivog binarnog sistema Ag-W pripravljeni su u širokom rasponu sastava magnetronskom kodepozicijom srebra i volframa. Brzina depozicije na podloge (staklo, korund, safir, mono-Si) pri sobnoj temperaturi bila je oko 0, 33 nm/s, a konačna debljina filmova bila je oko 0, 5  m. Ispitan je utjecaj tlaka radnog plina, te dodatka kisika odnosno aluminija na strukturu filma. Kemijski sastava filma određen je RBS metodom, a struktura je ispitivana XRD, GISAXS i SEM tehnikama. U ispitanom rasponu sastava Ag94W6-Ag12W88 nije dobiven potpuno amorfni film. Prezasićena čvrsta otopina Al(W) sa fcc strukturom formira se pri

Subjects

Subjects :
Ag-W
tanki film
struktura

Details

Language :
English
Database :
OpenAIRE
Accession number :
edsair.57a035e5b1ae..cb41fd28be1f09a659020970938adf53