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Wafer-scale fabrication of Liquid-Crystal micro-cells for integration in 1.55 µm tunable photonic devices
- Authors :
- Boisnard, Benjamin
Sadani, Benattou
Levallois, Christophe
Camps, Thierry
Paranthoen, Cyril
Bouchoule, Sophie
DUPONT, Laurent
Doucet, Jean-Baptiste
Bardinal, Véronique
Équipe MICrosystèmes d'Analyse (LAAS-MICA)
Laboratoire d'analyse et d'architecture des systèmes (LAAS)
Université Toulouse Capitole (UT Capitole)
Université de Toulouse (UT)-Université de Toulouse (UT)-Institut National des Sciences Appliquées - Toulouse (INSA Toulouse)
Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Université de Toulouse (UT)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Université Toulouse - Jean Jaurès (UT2J)
Université de Toulouse (UT)-Université Toulouse III - Paul Sabatier (UT3)
Université de Toulouse (UT)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Institut National Polytechnique (Toulouse) (Toulouse INP)
Université de Toulouse (UT)-Université Toulouse Capitole (UT Capitole)
Université de Toulouse (UT)
Institut des Fonctions Optiques pour les Technologies de l'informatiON (Institut FOTON)
Université de Rennes (UR)-Institut National des Sciences Appliquées - Rennes (INSA Rennes)
Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-École Nationale Supérieure des Sciences Appliquées et de Technologie (ENSSAT)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)
Centre de Nanosciences et Nanotechnologies (C2N (UMR_9001))
Université Paris-Sud - Paris 11 (UP11)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)
Département Optique (IMT Atlantique - OPT)
IMT Atlantique (IMT Atlantique)
Institut Mines-Télécom [Paris] (IMT)-Institut Mines-Télécom [Paris] (IMT)
Service Techniques et Équipements Appliqués à la Microélectronique (LAAS-TEAM)
ANR-14-ASTR-0007,HYPOCAMP,Lasers à cavités verticales accordables hybrides , contrôlées en polarisation et entièrement monolithiques pour la conception systèmes optiques et micro-ondes embarqués et compacts.(2014)
ANR-15-CE19-0012,DOCT-VCSEL,Tomographie par Cohérence Optique portable à source accordable MEMS-VCSEL pour l'analyse de la peau(2015)
Université Toulouse - Jean Jaurès (UT2J)-Université Toulouse 1 Capitole (UT1)
Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées-Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Toulouse III - Paul Sabatier (UT3)
Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées-Institut National des Sciences Appliquées - Toulouse (INSA Toulouse)
Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Institut National Polytechnique (Toulouse) (Toulouse INP)
Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées-Université Toulouse - Jean Jaurès (UT2J)-Université Toulouse 1 Capitole (UT1)
Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées
École Nationale Supérieure des Sciences Appliquées et de Technologie (ENSSAT)-IMT Atlantique Bretagne-Pays de la Loire (IMT Atlantique)
Institut Mines-Télécom [Paris] (IMT)-Institut Mines-Télécom [Paris] (IMT)-Institut National des Sciences Appliquées - Rennes (INSA Rennes)
Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Université de Rennes (UNIV-RENNES)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Université de Rennes (UNIV-RENNES)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université de Rennes 1 (UR1)
Université de Rennes (UNIV-RENNES)
IMT Atlantique Bretagne-Pays de la Loire (IMT Atlantique)
- Source :
- 11th European Workshop on VCSELs (VCSEL Day 2018), 11th European Workshop on VCSELs (VCSEL Day 2018), Apr 2018, Ulm, Germany
- Publication Year :
- 2018
- Publisher :
- HAL CCSD, 2018.
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Abstract
- International audience
Details
- Language :
- English
- Database :
- OpenAIRE
- Journal :
- 11th European Workshop on VCSELs (VCSEL Day 2018), 11th European Workshop on VCSELs (VCSEL Day 2018), Apr 2018, Ulm, Germany
- Accession number :
- edsair.dedup.wf.001..01294a624be1c51b31f6aeec5f135f04