Unbalanced RF magnetron sputtering of thin hexagonal boron nitride films

Authors :: Ben Moussa, B.
D'Haen, J.
BORSCHEL, C.
SAITNER, M.
Soltani, A.
Mortet, V.
RONNING, C.
D'Olieslaeger, M.
BOYEN, H.
Haenen, K.
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 (IEMN)
Centrale Lille-Institut supérieur de l'électronique et du numérique (ISEN)-Université de Valenciennes et du Hainaut-Cambrésis (UVHC)-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF)
Source :: 4th International Conference on New Diamond and Nano Carbons, NDNC 2010, 4th International Conference on New Diamond and Nano Carbons, NDNC 2010, 2010, Suzhou, China
Publication Year :: 2010
Publisher :: HAL CCSD, 2010.

Language :: English
Database :: OpenAIRE
Journal :: 4th International Conference on New Diamond and Nano Carbons, NDNC 2010, 4th International Conference on New Diamond and Nano Carbons, NDNC 2010, 2010, Suzhou, China
Accession number :: edsair.dedup.wf.001..19e86f588e14ea36a286bb6f0a595e34

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