COMMUTATEUR MICROELECTROMECANIQUE ROBUSTE

Authors :: Blondy, Pierre
Stefanini, Romain
Zhang, Ling Yan
Zahr, Abedel
RF-ELITE : RF-Electronique Imprimée pour les Télécommunications et l'Energie (XLIM-RFEI)
XLIM (XLIM)
Université de Limoges (UNILIM)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université de Limoges (UNILIM)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)
AirMems
Source :: France, N° de brevet: FR3027448-2016-04-22 (BOPI 2016-16). 2016
Publication Year :: 2016
Publisher :: HAL CCSD, 2016.

Subjects :: [SPI.NANO]Engineering Sciences [physics]/Micro and nanotechnologies/Microelectronics

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