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De l’élaboration de nanonets de silicium par voie liquide à la fabrication de transistors à effet de champ

Authors :
Legallais, Maxime
Serre, P.
Salem, Bassem
Baron, T.
Stambouli, V.
Mouis, M.
Ternon, C.
Institut de Microélectronique, Electromagnétisme et Photonique - Laboratoire d'Hyperfréquences et Caractérisation (IMEP-LAHC )
Institut polytechnique de Grenoble - Grenoble Institute of Technology (Grenoble INP )-Université Savoie Mont Blanc (USMB [Université de Savoie] [Université de Chambéry])-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Grenoble Alpes [2016-2019] (UGA [2016-2019])
Laboratoire des matériaux et du génie physique (LMGP )
Institut National Polytechnique de Grenoble (INPG)-Institut polytechnique de Grenoble - Grenoble Institute of Technology (Grenoble INP )-Institut de Chimie du CNRS (INC)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)
Laboratoire des technologies de la microélectronique (LTM )
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Grenoble Alpes [2016-2019] (UGA [2016-2019])
FMNT
G. Chadeyron, A. Potdevin, D. Boyer, F. Vocanson et M. Langlet
European Project: 688329,H2020,H2020-ICT-2015,Nanonets2Sense(2016)
Institut polytechnique de Grenoble - Grenoble Institute of Technology (Grenoble INP )-Institut National Polytechnique de Grenoble (INPG)-Institut de Chimie du CNRS (INC)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)
Source :
12ème Journée Sol-Gel et Chimie Liquide Rhône-Alpes-Auvergne (JSGRAA12), 12ème Journée Sol-Gel et Chimie Liquide Rhône-Alpes-Auvergne (JSGRAA12), G. Chadeyron, A. Potdevin, D. Boyer, F. Vocanson et M. Langlet, Mar 2016, Saint-Etienne, France
Publication Year :
2016
Publisher :
HAL CCSD, 2016.

Abstract

National audience

Subjects

Subjects :
[CHIM.MATE]Chemical Sciences/Material chemistry
ComputingMilieux_MISCELLANEOUS

Details

Language :
French
Database :
OpenAIRE
Journal :
12ème Journée Sol-Gel et Chimie Liquide Rhône-Alpes-Auvergne (JSGRAA12), 12ème Journée Sol-Gel et Chimie Liquide Rhône-Alpes-Auvergne (JSGRAA12), G. Chadeyron, A. Potdevin, D. Boyer, F. Vocanson et M. Langlet, Mar 2016, Saint-Etienne, France
Accession number :
edsair.dedup.wf.001..7ccfa12a65200240c213c0a361bff45e

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Authors Abstract Subjects Details