Dispositif microélectromécanique piézoélectrique

Authors :: Faucher, M.
Didier Theron
Christophe Gaquière
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 (IEMN)
Centrale Lille-Institut supérieur de l'électronique et du numérique (ISEN)-Université de Valenciennes et du Hainaut-Cambrésis (UVHC)-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF)
Source :: N° de brevet: FR2944274 (A1). 2010, HAL
Publication Year :: 2010
Publisher :: HAL CCSD, 2010.
Abstract: n° de priorité : FR20090001794 20090410 ; également publié en tant que : WO2010116061 (A1) 2010-10-14 ; EP2417645 (A1) 2012-02-15 ; FR2944274 (B1) 2012-03-02

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