RÉALISATION DE MURS P + TRAVERSANTS POUR DES FONCTIONS DE PUISSANCE INTÉGRÉES

International audience; Les murs traversants P + peuvent être considérés comme des régions clés dans les architectures 3D pour de nouvelles fonctions de puissances intégrées bidirectionnelles en tension et en courant. Dans la première partie, nous démontrons la faisabilité de la fabrication de ces murs P + qui combinent la réalisation de tranchées profondes dans le silicium par gravure ionique réactive et le remplissage de celles-ci par du polysilicium fortement dopé bore.