Micro-résonateurs haute fréquence pour la microscopie à force atomique

Authors :: Walter, B.
Faucher, M.
Mairiaux, E.
Xiong, Z.
Buchaillot, L.
Legrand, Bernard
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 (IEMN)
Centrale Lille-Institut supérieur de l'électronique et du numérique (ISEN)-Université de Valenciennes et du Hainaut-Cambrésis (UVHC)-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF)
Source :: 15ème Forum des Microscopies à Sonde Locale, 15ème Forum des Microscopies à Sonde Locale, 2012, Saint-Jacut-de-la-Mer, France, Journées Nationales du GDR Micro Nano Systèmes-Micro Nano Fluidique, Journées Nationales du GDR Micro Nano Systèmes-Micro Nano Fluidique, 2012, Bordeaux, France
Publication Year :: 2012
Publisher :: HAL CCSD, 2012.

Language :: French
Database :: OpenAIRE
Journal :: 15ème Forum des Microscopies à Sonde Locale, 15ème Forum des Microscopies à Sonde Locale, 2012, Saint-Jacut-de-la-Mer, France, Journées Nationales du GDR Micro Nano Systèmes-Micro Nano Fluidique, Journées Nationales du GDR Micro Nano Systèmes-Micro Nano Fluidique, 2012, Bordeaux, France
Accession number :: edsair.dedup.wf.001..9ed531287c3f8c6305bcb808172cc41a

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