Growth and study of Si quantum dots for integration in memory devices

Authors :: Baron, T.
Mazen, F.
de Salvo, B.
Gely, M.
Decossas, S.
Gerardi, C.
Ammendola, G.
Puglisi, R.
Nicotra, G.
Lombardo, S.
Laboratoire des technologies de la microélectronique (LTM)
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Université Joseph Fourier - Grenoble 1 (UJF)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)
Clot, Marielle
Université Joseph Fourier - Grenoble 1 (UJF)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)
Source :: MFMN2004, MFMN2004, 2004, Southampton, United Kingdom
Publication Year :: 2004
Publisher :: HAL CCSD, 2004.
Abstract: International audience

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