Conception et réalisation d'un micro-actionneur électrostatique pour le contrôle de la couche limite

Authors :: Malapert, Julien
Yahiaoui, Réda
Addouche, Mahmoud
Manceau, Jean-François
Franche-Comté Électronique Mécanique, Thermique et Optique - Sciences et Technologies (UMR 6174) (FEMTO-ST)
Université de Technologie de Belfort-Montbeliard (UTBM)-Ecole Nationale Supérieure de Mécanique et des Microtechniques (ENSMM)-Université de Franche-Comté (UFC)
Université Bourgogne Franche-Comté [COMUE] (UBFC)-Université Bourgogne Franche-Comté [COMUE] (UBFC)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)
AEROMEMS II
Source :: (Journées Nationales du Réseau Doctoral en Microélectronique), JNRDM2007, Lille 14, 15 & 16 Mai 2007, (Journées Nationales du Réseau Doctoral en Microélectronique), (Journées Nationales du Réseau Doctoral en Microélectronique), May 2007, Lille, France. pp.JNRDM2007, Lille 14, 15 & 16 Mai 2007
Publication Year :: 2007
Publisher :: HAL CCSD, 2007.
Abstract: International audience

Subjects :: [SPI.NANO]Engineering Sciences [physics]/Micro and nanotechnologies/Microelectronics
ComputingMilieux_MISCELLANEOUS

Language :: French
Database :: OpenAIRE
Journal :: (Journées Nationales du Réseau Doctoral en Microélectronique), JNRDM2007, Lille 14, 15 & 16 Mai 2007, (Journées Nationales du Réseau Doctoral en Microélectronique), (Journées Nationales du Réseau Doctoral en Microélectronique), May 2007, Lille, France. pp.JNRDM2007, Lille 14, 15 & 16 Mai 2007
Accession number :: edsair.dedup.wf.001..ac593d4ddbcd44abc7b9e3b64f55eacc

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