Towards a new generation of MEMS-based AFM probes

Authors :: Xiong, Z.
Walter, B.
Mairiaux, E.
Faucher, M.
Buchaillot, L.
Legrand, Bernard
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 (IEMN)
Centrale Lille-Institut supérieur de l'électronique et du numérique (ISEN)-Université de Valenciennes et du Hainaut-Cambrésis (UVHC)-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF)
Source :: International Scanning Probe Microscopy Conference, ISPM 2013, International Scanning Probe Microscopy Conference, ISPM 2013, 2013, Dijon, France
Publication Year :: 2013
Publisher :: HAL CCSD, 2013.

Language :: English
Database :: OpenAIRE
Journal :: International Scanning Probe Microscopy Conference, ISPM 2013, International Scanning Probe Microscopy Conference, ISPM 2013, 2013, Dijon, France
Accession number :: edsair.dedup.wf.001..d70f0372bcfb368593df131bbf5cf331

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