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Embedded Vapor Chamber in Microelectronics Devices

Authors :
Struss, Quentin
Coudrain, Perceval
Colonna, Jean-Philippe
Souifi, Abdelkader
Gontrand, Christian
Fréchette, Luc G.
Laboratoire Nanotechnologies Nanosystèmes (LN2 )
Université de Sherbrooke (UdeS)-École Centrale de Lyon (ECL)
Université de Lyon-Université de Lyon-École supérieure de Chimie Physique Electronique de Lyon (CPE)-Institut National des Sciences Appliquées de Lyon (INSA Lyon)
Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Université de Lyon-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Grenoble Alpes [2016-2019] (UGA [2016-2019])
Institut Interdisciplinaire d'Innovation Technologique [Sherbrooke] (3IT)
Université de Sherbrooke (UdeS)
STMicroelectronics [Grenoble] (ST-GRENOBLE)
INL - Dispositifs Electroniques (INL - DE)
Institut des Nanotechnologies de Lyon (INL)
École Centrale de Lyon (ECL)
Université de Lyon-Université de Lyon-Université Claude Bernard Lyon 1 (UCBL)
Université de Lyon-École supérieure de Chimie Physique Electronique de Lyon (CPE)-Institut National des Sciences Appliquées de Lyon (INSA Lyon)
Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Université de Lyon-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-École Centrale de Lyon (ECL)
Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Université de Lyon-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)
LN2, UMI3463
Source :
JNRDM 2017, JNRDM 2017, Nov 2017, Strasbourg, France
Publication Year :
2017
Publisher :
HAL CCSD, 2017.

Abstract

National audience

Details

Language :
English
Database :
OpenAIRE
Journal :
JNRDM 2017, JNRDM 2017, Nov 2017, Strasbourg, France
Accession number :
edsair.dedup.wf.001..d7c4787aa53c3ca75dec507534787515