Back to Search Start Over

A lesson from archeology: The buried gates

Authors :
Litty, Antoine
Solaro, Yohann
Dirani, Hassan El
Ortolland, Sylvie
Fonteneau, Pascal
Onestas, L.
Fenouillet-Beranger, Claire
Le Royer, Cyrille
Bawedin, Maryline
Zaslavsky, Alexander
Ferrari, Philippe
Cristoloveanu, Sorin
Institut de Microélectronique, Electromagnétisme et Photonique - Laboratoire d'Hyperfréquences et Caractérisation (IMEP-LAHC)
Université Joseph Fourier - Grenoble 1 (UJF)-Institut polytechnique de Grenoble - Grenoble Institute of Technology (Grenoble INP )-Université Savoie Mont Blanc (USMB [Université de Savoie] [Université de Chambéry])-Institut National Polytechnique de Grenoble (INPG)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)
STMicroelectronics [Crolles] (ST-CROLLES)
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information (CEA-LETI)
Direction de Recherche Technologique (CEA) (DRT (CEA))
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)-Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (CEA)
School of Engineering (Brown Engineering)
Brown University
Ducroquet, Frédérique
Université Joseph Fourier - Grenoble 1 (UJF)-Institut polytechnique de Grenoble - Grenoble Institute of Technology (Grenoble INP )-Institut National Polytechnique de Grenoble (INPG)-Université Savoie Mont Blanc (USMB [Université de Savoie] [Université de Chambéry])-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)
Source :
2015 Advanced Research Workshop Future Trends in Microelectronics: Journey into the Unknown, 2015 Advanced Research Workshop Future Trends in Microelectronics: Journey into the Unknown, Jun 2015, Mallorca, Spain
Publication Year :
2015
Publisher :
HAL CCSD, 2015.

Abstract

session poster; International audience

Subjects

Subjects :
[SPI.NANO] Engineering Sciences [physics]/Micro and nanotechnologies/Microelectronics
ComputingMethodologies_GENERAL
[SPI.NANO]Engineering Sciences [physics]/Micro and nanotechnologies/Microelectronics
ComputingMilieux_MISCELLANEOUS

Details

Language :
English
Database :
OpenAIRE
Journal :
2015 Advanced Research Workshop Future Trends in Microelectronics: Journey into the Unknown, 2015 Advanced Research Workshop Future Trends in Microelectronics: Journey into the Unknown, Jun 2015, Mallorca, Spain
Accession number :
edsair.dedup.wf.001..d85a750b758a9ce82d9efe76ff646347

Tools

Authors Abstract Subjects Details