Metrología por fibra óptica para la detección de pequeños desplazamientos

En este trabajo se presenta una metodología para la medida de deflexiones en el rango de las micras en membranas termoneumáticas de silicio. El método se basa en la interferometría por fibra óptica con el cual se estudió el comportamiento estático de una membrana de silicio de 10 mm de grosor, 5 mm de lado y 300 mm de bulk, la cual se pegó sobre un porta muestras de vidrio. Por medida estática se entiende la medida de la deflexión de las membranas considerando únicamente la respuesta de éstas a la fuente de radiación infrarroja que las estimula.