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Herstellung und Charakterisierung ultradünner ZrO2-basierter Schichten als Isolatoren in Metall-Isolator-Metall Kondensatoren
- Publication Year :
- 2013
- Publisher :
- Fraunhofer-Gesellschaft, 2013.
Details
- Database :
- OpenAIRE
- Accession number :
- edsair.doi...........65162bfbad60fa83f53c5f0514d3d9f3
- Full Text :
- https://doi.org/10.24406/publica-fhg-279719