Analysis of influence factors of resolution in high-resolution 4f imaging system

研究了在实际应用中4 f 传像系统分辨率的影响因素及其作用机制，用于指导系统的设计和装调。首先，在理论上分析了由装调误差引起的像差对系统光学传递函数(MTF)产生的影响，并建立了描述二者关系的数学模型。基于该模型研究了1 μ m分辨率4 f 光学系统的装调误差，仿真计算了系统含有透镜偏心、倾斜、位移误差对MTF的影响，得到了分辨率随误差的变化曲线。实验结果表明，倾斜在15'以内，偏心误差在0.02 mm，位移在0.01 mm范围内，装调误差均会导致分辨率下降，虽然倾斜在极小范围内微调时分辨率会提高，但总的变化趋势不变。绘制的装调误差与分辨率的关系图，可为高分辨率4 f 系统的误差预估提供参考。