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Nicht-Silizium-High-Aspect-Ratio-Micro-Structures
- Source :
- Technologien der Mikrosysteme ISBN: 9783658374976
- Publication Year :
- 2022
- Publisher :
- Springer Fachmedien Wiesbaden, 2022.
Details
- ISBN :
- 978-3-658-37497-6
- ISBNs :
- 9783658374976
- Database :
- OpenAIRE
- Journal :
- Technologien der Mikrosysteme ISBN: 9783658374976
- Accession number :
- edsair.doi...........d0adf56f7c10d92abd37a870ca52b2dd