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Spezielle Probleme der Hochvakuum-Bedampfung

Spezielle Probleme der Hochvakuum-Bedampfung

Authors :
von W. Reichelt
Publication Year :
1960
Publisher :
Elsevier, 1960.

Abstract

Die konventionelle Technik der Hochvakuum-Bedampfung stellt Schichten mit Dicken ≤ 1 μ her. Der Anwendungsbereich des Verfahrens kann wesentlich erweitert werden, wenn es gelingt, auch dickere Schichten herzustellen, wofur Moglichkeiten und Grenzen aufgezeigt werden. Erforderlich ist die Entwicklung leistungsfahiger Dampfquellen, mit denen es gelingt, grose Mengen Metall uber lange Zeiten hinweg zu verdampfen. Derartige Verdampfer sind z.B. von ausschlaggebender Bedeutung fur kontinuierliche Bandbedampfungsanlagen. Die fur wirtschaftliche Arbeitsweise notwendige kurze Evakuierungszeit ist das zweite Problem bei Bandbedampfungsanlagen. Wahrend man zunachst Einkammer- und Zweikammer-Maschinen baute, wendet sich heute das Interesse solchen Anlagen zu, bei denen fast das ganze zu bedampfende Material sich in Raumen von Atmospharendruck befindet und nur jeweils kleinere Teile zwecks Bedampfung uber Druckstufen durch die Hochvakuumkammer geleitet werden. Es werden Beobachtungen und Messungen an solchen Druckstufen mitgeteilt.

Details

Database :
OpenAIRE
Accession number :
edsair.doi...........ed5065464d79b91591fd7d437af1d92e
Full Text :
https://doi.org/10.1016/b978-1-4832-8302-9.50154-x