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Spezielle Probleme der Hochvakuum-Bedampfung
Spezielle Probleme der Hochvakuum-Bedampfung
- Publication Year :
- 1960
- Publisher :
- Elsevier, 1960.
-
Abstract
- Die konventionelle Technik der Hochvakuum-Bedampfung stellt Schichten mit Dicken ≤ 1 μ her. Der Anwendungsbereich des Verfahrens kann wesentlich erweitert werden, wenn es gelingt, auch dickere Schichten herzustellen, wofur Moglichkeiten und Grenzen aufgezeigt werden. Erforderlich ist die Entwicklung leistungsfahiger Dampfquellen, mit denen es gelingt, grose Mengen Metall uber lange Zeiten hinweg zu verdampfen. Derartige Verdampfer sind z.B. von ausschlaggebender Bedeutung fur kontinuierliche Bandbedampfungsanlagen. Die fur wirtschaftliche Arbeitsweise notwendige kurze Evakuierungszeit ist das zweite Problem bei Bandbedampfungsanlagen. Wahrend man zunachst Einkammer- und Zweikammer-Maschinen baute, wendet sich heute das Interesse solchen Anlagen zu, bei denen fast das ganze zu bedampfende Material sich in Raumen von Atmospharendruck befindet und nur jeweils kleinere Teile zwecks Bedampfung uber Druckstufen durch die Hochvakuumkammer geleitet werden. Es werden Beobachtungen und Messungen an solchen Druckstufen mitgeteilt.
Details
- Database :
- OpenAIRE
- Accession number :
- edsair.doi...........ed5065464d79b91591fd7d437af1d92e
- Full Text :
- https://doi.org/10.1016/b978-1-4832-8302-9.50154-x