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DESIGN AND FABRICATION OF RF-MEMS SWITCH FOR V-BAND RECONFIGURABLE APPLICATION

Authors :
Jinyu Ruan
Gaetan Prigent
Thanh Mai Vu
Robert Plana
LAboratoire PLasma et Conversion d'Energie (LAPLACE)
Université Toulouse III - Paul Sabatier (UT3)
Université de Toulouse (UT)-Université de Toulouse (UT)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Institut National Polytechnique (Toulouse) (Toulouse INP)
Université de Toulouse (UT)
Laboratoire des sciences et techniques de l'information, de la communication et de la connaissance (UMR 3192) (Lab-STICC)
Université européenne de Bretagne - European University of Brittany (UEB)-Université de Bretagne Sud (UBS)-Université de Brest (UBO)-Télécom Bretagne-Institut Brestois du Numérique et des Mathématiques (IBNM)
Université de Brest (UBO)-Institut Mines-Télécom [Paris] (IMT)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)
Département Electronique - UFR Sciences et Techniques - Université de Brest
Université de Brest (UBO)
Laboratoire d'analyse et d'architecture des systèmes (LAAS)
Université Toulouse Capitole (UT Capitole)
Université de Toulouse (UT)-Université de Toulouse (UT)-Institut National des Sciences Appliquées - Toulouse (INSA Toulouse)
Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Université de Toulouse (UT)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Université Toulouse - Jean Jaurès (UT2J)
Université de Toulouse (UT)-Université Toulouse III - Paul Sabatier (UT3)
Université de Toulouse (UT)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Institut National Polytechnique (Toulouse) (Toulouse INP)
Source :
Progress In Electromagnetics Research B, Progress In Electromagnetics Research B, 2012, 39, pp.301-318. ⟨10.2528/PIERB12021404⟩
Publication Year :
2012
Publisher :
The Electromagnetics Academy, 2012.

Abstract

International audience; This paper presents a study of RF MEMS switch designed to be integrated in tunable filters for applications from W-frequency band to V-frequency band. Along the whole process, we go into detail of each procedure to present a complete study from design to fabrication and characterization of a RF-MEMS switch. The proposed concepts are validated by experimental results.

Subjects

Subjects :
Microelectromechanical systems
[SPI.ELEC]Engineering Sciences [physics]/Electromagnetism
Fabrication
Materials science
business.industry
Process (computing)
Optoelectronics
Electrical and Electronic Engineering
Condensed Matter Physics
business
Electronic, Optical and Magnetic Materials
V band
Characterization (materials science)

Details

ISSN :
19376472
Volume :
39
Database :
OpenAIRE
Journal :
Progress In Electromagnetics Research B
Accession number :
edsair.doi.dedup.....fc8789bb96a4f57c0c7d7982b16427d8

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