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Ti/Au 積層構造有するマイクロカンチレバーの長期構造安定性に対する幾何学構造の影響
- Authors :
- Miyai, Ryosuke
Kurioka, Tomoyuki
Chen, Chun Yi
Chang, Tso-Fu Mark
Onishi, Akira
CHAKRABORTY, P
CHAKRABORTY, Parthojit
Machida, Katsuyuki
Ito, Hiroyuki
Miyake, Yoshihiro
Sone, Masato
- Source :
- 第70回応用物理学会春季学術講演会.
- Publication Year :
- 2023
Details
- Language :
- Japanese
- Database :
- OpenAIRE
- Journal :
- 第70回応用物理学会春季学術講演会
- Accession number :
- edsair.jairo.........3f71aff57ba151b32734a9f20abc0a22