γ線照射が炭化ケイ素表面発光中心の生成・発光特性に与える影響

Authors :: Yamazaki, Yuichi
Tsunemi, Hiroki
Sato, Shinichiro
Ohshima, Takeshi
Publication Year :: 2019
Abstract: γ線照射が炭化ケイ素表面発光中心(表面SPS)の生成・発光特性に与える影響について調べた。照射量10kGyで表面SPS数が増加、その後はほとんど変化しなかった。フォトルミネッセンススペクトルは照射量に関わらず未照射と明確な差異は認められなかった。これから、γ線照射による界面近傍でのボンド切断とそこに存在する水素、酸素が表面SPSを生成するモデルを考察した。<br />第66回応用物理学会春季学術講演会

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