Оцінка можливостей застосування тасітронів в системах електроживлення імпульсних магнетронних розпилюючих систем

Розглянуто переваги імпульсної МРС. Запропоновано використання тасітрону в системах імпульсного живлення МРС. We considered the advantages of impulse magnetron sputtering system. Also, we proposed the use tacitron in pulsed mode impulse magnetron sputtering systems. . Рассмотрено преимущество импульсной МРС. Предложено использование таситронов в системах импульсного питания МРС.