Trasducción de energía electromagnética con tecnología CMOS

Esta tesis presenta el diseño, modelado analítico y simulación de un micromotor electrostático basado en tecnología MEMS. Los micromotores electristáticos existentes conllevan obstáculos que son inherentes a su geometría o proceso de fabricación, en algunos de ellos la potencia generada no es suficiente para poder ser aprovechada, otros son inestables o su proceso de fabricación es demasiado complejo. En cambio, la geometría propuesta es capaz de generar un nivel de fuerza electróstatica utilizable en microsistemas y además, no es necesarion ningún tipo de ensamble o postproceso para obtener un prototipo estable.