Activation of getter films for MEMS packaging studied by in situ NRA

Authors :: Bessouet, Clément
Bejjit, Charaf-Eddine
Kutyla, Charlotte
Lemettre, Sylvain
Bosseboeuf, Alain
Coste, Philippe
Sauvage, Thierry
Wendling, Olivier
Bellamy, Aurelien
Jagtap, Pratik
Escoubas, Stephanie
Guichet, Christophe
Thomas, Olivier
Moulin, Johan
Centre de Nanosciences et de Nanotechnologies (C2N)
Université Paris-Saclay-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)
Conditions Extrêmes et Matériaux : Haute Température et Irradiation (CEMHTI)
Université d'Orléans (UO)-Institut de Chimie du CNRS (INC)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)
Institut des Matériaux, de Microélectronique et des Nanosciences de Provence (IM2NP)
Aix Marseille Université (AMU)-Université de Toulon (UTLN)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)
Source :: 22nd International Vacuum Congress, 22nd International Vacuum Congress, Sep 2022, Sapporo, Japan
Publication Year :: 2022
Publisher :: HAL CCSD, 2022.
Abstract: International audience

Language :: English
Database :: OpenAIRE
Journal :: 22nd International Vacuum Congress, 22nd International Vacuum Congress, Sep 2022, Sapporo, Japan
Accession number :: edsair.od......3430..0f41988d598d260d6208c79782606ad1

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