La lithographie à l'IEMN : de la micro à la nanostructuration

Authors :: Vaurette, Francois
François, Marc
Deblock, Yves
Tilmant, Pascal
Boyaval, Christophe
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 (IEMN)
Centrale Lille-Institut supérieur de l'électronique et du numérique (ISEN)-Université de Valenciennes et du Hainaut-Cambrésis (UVHC)-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF)
Centrale de Micro Nano Fabrication - IEMN (CMNF - IEMN)
Centrale Lille-Institut supérieur de l'électronique et du numérique (ISEN)-Université de Valenciennes et du Hainaut-Cambrésis (UVHC)-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF)-Centrale Lille-Institut supérieur de l'électronique et du numérique (ISEN)-Université de Valenciennes et du Hainaut-Cambrésis (UVHC)-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF)
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Source :: 15èmes Journées Nano, Micro et Optoélectronique, 15èmes Journées Nano, Micro et Optoélectronique, May 2016, Les Issambres, France
Publication Year :: 2016
Publisher :: HAL CCSD, 2016.
Abstract: International audience

Language :: French
Database :: OpenAIRE
Journal :: 15èmes Journées Nano, Micro et Optoélectronique, 15èmes Journées Nano, Micro et Optoélectronique, May 2016, Les Issambres, France
Accession number :: edsair.od......4254..7d6b4e4f97e018386f3b1f413a792621

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