Strukturní analýza niklem dopovaného SrTiO3 pomocí rentgenové difrakce

Náplní této práce je studium struktutry niklem dopovaného SrTiO3 pomocí rentgenové difrakce. Všechny vzorky byly připravené pomocí magnetronového naprašování na Si a SiO2 subrstrát. Hlavním cílem práce bylo monitorování krystalizace deponovaných vrstev SrTiO3 dopovaných niklem. RTG měření bylo provedeno na vzorcích v původnímdeponovaném stavu a ve stavu po vyžíhání ve vakuu při teplotě 900 °C. Rentgenová analýza byla provedena pomocí obou geometrií (symetrické i asymetrické). Tato měření poskytla informace o vlivu niklu na finální strukturu, velikost krystalitů, mikronapětí a deformaci mřížky. Zejména je demonstrován vliv niklu na krystalizaci SrTiO3 v porovnání s nedopovaným SrTiO3. The aim of this work is to study the structure of Ni-doped SrTiO3 thin films by X-ray diffraction (XRD). All samples were prepared by magnetron sputtering on Si and SiO2 substrates. The main objective of this work is to monitor the crystallization of the deposited thin layer of Ni-doped SrTiO3. The X-ray diffraction measurements were done on the films as deposited and after annealing in vacuum up to 900°C. The x-ray analysis was used with both geometries (symmetric and asymmetric). Those measurements allow us to get information about the influence of Ni on the final structure, the size of crystallites, the micro-strains and the deformation of the lattice. In particular, here we demonstrate that Ni doping lead to the unique stabilisation of crystall growth of SrTiO3 as compared to the undoped SrTiO3.