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In-depth analysis of 3D Silicon nanowire SONOS memory characteristics by TCAD simulations

Authors :
Bertin Technologies (Bertin Technologies) ; Bertin Technologies
Franche-Comté Électronique Mécanique, Thermique et Optique - Sciences et Technologies (FEMTO-ST) ; CNRS - Université de Franche-Comté - Université de Technologie de Belfort-Montbeliard - Ecole Nationale Supérieure de Mécanique et des Microtechniques
Laboratoire d'Electronique et des Technologies de l'Information (LETI) ; CEA
Institut de Microélectronique, Electromagnétisme et Photonique - Laboratoire d'Hyperfréquences et Caractérisation (IMEP-LAHC) ; Université de Savoie - Université Joseph Fourier - Grenoble I - Institut National Polytechnique de Grenoble (INPG) - CNRS
Institut d'astrophysique spatiale (IAS) ; CNRS - INSU - Université Paris XI - Paris Sud
Nowak, E.
Hubert, A.
Perniola, L.
Ernst, T.
Ghibaudo, G.
Reimbold, G.
Boulanger, F.
De Salvo, B.
Bertin Technologies (Bertin Technologies) ; Bertin Technologies
Franche-Comté Électronique Mécanique, Thermique et Optique - Sciences et Technologies (FEMTO-ST) ; CNRS - Université de Franche-Comté - Université de Technologie de Belfort-Montbeliard - Ecole Nationale Supérieure de Mécanique et des Microtechniques
Laboratoire d'Electronique et des Technologies de l'Information (LETI) ; CEA
Institut de Microélectronique, Electromagnétisme et Photonique - Laboratoire d'Hyperfréquences et Caractérisation (IMEP-LAHC) ; Université de Savoie - Université Joseph Fourier - Grenoble I - Institut National Polytechnique de Grenoble (INPG) - CNRS
Institut d'astrophysique spatiale (IAS) ; CNRS - INSU - Université Paris XI - Paris Sud
Nowak, E.
Hubert, A.
Perniola, L.
Ernst, T.
Ghibaudo, G.
Reimbold, G.
Boulanger, F.
De Salvo, B.
Source :
2nd International Memory Workshop; 2nd International Memory Workshop, Dec 2009, South Korea

Abstract

International audience

Details

Database :
OAIster
Journal :
2nd International Memory Workshop; 2nd International Memory Workshop, Dec 2009, South Korea
Notes :
2nd International Memory Workshop, English
Publication Type :
Electronic Resource
Accession number :
edsoai.ocn893170419
Document Type :
Electronic Resource