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Growth of SiC microwires through Si microwires carburization

Authors :
Institut d'astrophysique spatiale (IAS) ; CNRS - INSU - Université Paris XI - Paris Sud
Science et Ingénierie des Matériaux et Procédés (SIMaP) ; Université Joseph Fourier - Grenoble I - Institut National Polytechnique de Grenoble (INPG) - CNRS
Institut de Microélectronique, Electromagnétisme et Photonique - Laboratoire d'Hyperfréquences et Caractérisation (IMEP-LAHC) ; Université de Savoie - Université Joseph Fourier - Grenoble I - Institut National Polytechnique de Grenoble (INPG) - CNRS
Franche-Comté Électronique Mécanique, Thermique et Optique - Sciences et Technologies (FEMTO-ST) ; CNRS - Université de Franche-Comté - Université de Technologie de Belfort-Montbeliard - Ecole Nationale Supérieure de Mécanique et des Microtechniques
Laboratoire des technologies de la microélectronique (LTM) ; CNRS - Université Joseph Fourier - Grenoble I
Ollivier, M.
Mantoux, A.
Bano, Edwige
Rogdakis, K.
Baron, T.
Latu-Romain, L.
Institut d'astrophysique spatiale (IAS) ; CNRS - INSU - Université Paris XI - Paris Sud
Science et Ingénierie des Matériaux et Procédés (SIMaP) ; Université Joseph Fourier - Grenoble I - Institut National Polytechnique de Grenoble (INPG) - CNRS
Institut de Microélectronique, Electromagnétisme et Photonique - Laboratoire d'Hyperfréquences et Caractérisation (IMEP-LAHC) ; Université de Savoie - Université Joseph Fourier - Grenoble I - Institut National Polytechnique de Grenoble (INPG) - CNRS
Franche-Comté Électronique Mécanique, Thermique et Optique - Sciences et Technologies (FEMTO-ST) ; CNRS - Université de Franche-Comté - Université de Technologie de Belfort-Montbeliard - Ecole Nationale Supérieure de Mécanique et des Microtechniques
Laboratoire des technologies de la microélectronique (LTM) ; CNRS - Université Joseph Fourier - Grenoble I
Ollivier, M.
Mantoux, A.
Bano, Edwige
Rogdakis, K.
Baron, T.
Latu-Romain, L.
Source :
European Conference on Silicon Carbide and Related; European Conference on Silicon Carbide and Related, Dec 2009, Oslo, Norway. pp.512-515

Abstract

International audience

Details

Database :
OAIster
Journal :
European Conference on Silicon Carbide and Related; European Conference on Silicon Carbide and Related, Dec 2009, Oslo, Norway. pp.512-515
Notes :
Oslo, Norway, European Conference on Silicon Carbide and Related, English
Publication Type :
Electronic Resource
Accession number :
edsoai.ocn893170474
Document Type :
Electronic Resource

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Authors Abstract Subjects Details