Příprava tenkých vrstev ze systému Ga-S metodou spin coating a jejich charakterizace mikroskopií atomárních sil

Diplomová práce je zaměřena na fyzikální a chemické depozice tenkých vrstev. Jsou popsány organokovové sloučeniny a organokovové chalkogenidy jako možné single source prekurzory. V experimentální části byly připraveny intramolekulárně koordinované sloučeniny organogallitých chalkogenidů a jejich roztoky byly deponovány spin coatingem. Vzniklé tenké vrstvy byly popsány a charakterizovány.
This thesis is focused on the physical and chemical way of deposition of thin films. Organometallic compounds and organometallic chalcogenides as possible single source precursors are described. In the experimental part the intramolecularly coordinated compounds of organogallium chalcogenides were prepared. Their solutions were deposited by spin coating and than those thin films were described and characterized.
Katedra polygrafie a fotofyziky
doc. Ing. Petr Němec, Ph.D.: Je možné srovnat vlastnosti získaných vrstev s literaturou? ing. Jan Vališ, Ph.D.: K čemu se vaužívají vámi připravované vrstvy? doc. Ing. Michal Veselý, CSc.: V elipsometrii jsou naměřené nebo fitované křivky? Drsnost povrchu je vypočítána? Odpovídá hodnotě Ra nebo Rz? ing. Tomáš Syrový, Ph.D.: Za jakých podmínek probíhal termický rozklad? Tloušťka vrstev nebyla stanovována jinak než elipsometrií?