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Anwendung des feinfokussierten Ionenstrahles zur Fertigung mikromechanischer Bauelemente
- Source :
- Forschungszentrum Rossendorf; FZR-31
- Publication Year :
- 1994
Details
- Database :
- OAIster
- Journal :
- Forschungszentrum Rossendorf; FZR-31
- Notes :
- application/pdf, German
- Publication Type :
- Electronic Resource
- Accession number :
- edsoai.on1415574558
- Document Type :
- Electronic Resource