Integrierte, siliziumbasierte, miniaturisierte Pumpen und Strömungssensoren für mobile mikrofluidische Systeme

In dieser Arbeit werden integrierte, siliziumbasierte Mikropumpen und darauf abgestimmte, miniaturisierte Strömungssensoren von Grund auf neu konzeptioniert und entwickelt. Die Entwicklungsphase wird durch virtuelle Produktentwicklung und durch die Adaptierung vorhandener Fertigungsprozesse beschleunigt. Nach der Entwicklung geeigneter Prüfstände können durch experimentelle Charakterisierung die Vorteile der Mikropumpen und Strömungssensoren gegenüber dem Stand der Technik nachgewiesen werden.
In this work, integrated silicon-based micropumps and matched miniaturized flow sensors are conceptualized and developed from scratch. The development phase is accelerated by virtual product development and by adapting existing manufacturing processes. After the development of suitable test rigs, the advantages of the micropumps and flow sensors compared to the state of the art can be demonstrated by experimental characterization.