1. Tests sur la Medusa de AllResist
- Author
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Deblock, Yves, Boyaval, Christophe, Elegbe, J., Ouendi, Saliha, Tilmant, Pascal, Vaurette, Francois, Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 (IEMN), Centrale Lille-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF)-JUNIA (JUNIA), Université catholique de Lille (UCL)-Université catholique de Lille (UCL), Centrale de Micro Nano Fabrication - IEMN (CMNF - IEMN), Université catholique de Lille (UCL)-Université catholique de Lille (UCL)-Centrale Lille-Université de Lille-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Polytechnique Hauts-de-France (UPHF)-JUNIA (JUNIA), Renatech Network, and CMNF
- Subjects
[PHYS]Physics [physics] ,[SPI]Engineering Sciences [physics] - Abstract
National audience
- Published
- 2023