1. 28 nm UTBB FD-SOI technology for Silicon-based quantum dots and Cryo-CMOSelectronics
- Author
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Kriekouki, I., Rochette, Sophie, Rohrbacher, Claude, Camirand Lemyre, J., Pioro-Ladriere, Michel, Drouin, Dominique, Barragan, Manuel J., Mir, Salvador, Galy, Philippe, Techniques de l'Informatique et de la Microélectronique pour l'Architecture des systèmes intégrés (TIMA), Institut polytechnique de Grenoble - Grenoble Institute of Technology (Grenoble INP )-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Grenoble Alpes [2016-2019] (UGA [2016-2019]), Université de Sherbrooke (UdeS), Laboratoire Nanotechnologies et Nanosystèmes [Sherbrooke] (LN2), Université de Sherbrooke (UdeS)-École Centrale de Lyon (ECL), Université de Lyon-Université de Lyon-École supérieure de Chimie Physique Electronique de Lyon (CPE)-Institut National des Sciences Appliquées de Lyon (INSA Lyon), Université de Lyon-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Grenoble Alpes (UGA), Institut Interdisciplinaire d'Innovation Technologique [Sherbrooke] (3IT), and STMicroelectronics [Crolles] (ST-CROLLES)
- Subjects
[SPI]Engineering Sciences [physics] ,ComputingMilieux_MISCELLANEOUS - Abstract
International audience
- Published
- 2019