28 nm UTBB FD-SOI technology for Silicon-based quantum dots and Cryo-CMOSelectronics

Authors :: Kriekouki, I.
Rochette, Sophie
Rohrbacher, Claude
Camirand Lemyre, J.
Pioro-Ladriere, Michel
Drouin, Dominique
Barragan, Manuel J.
Mir, Salvador
Galy, Philippe
Techniques de l'Informatique et de la Microélectronique pour l'Architecture des systèmes intégrés (TIMA)
Institut polytechnique de Grenoble - Grenoble Institute of Technology (Grenoble INP )-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Grenoble Alpes [2016-2019] (UGA [2016-2019])
Université de Sherbrooke (UdeS)
Laboratoire Nanotechnologies et Nanosystèmes [Sherbrooke] (LN2)
Université de Sherbrooke (UdeS)-École Centrale de Lyon (ECL)
Université de Lyon-Université de Lyon-École supérieure de Chimie Physique Electronique de Lyon (CPE)-Institut National des Sciences Appliquées de Lyon (INSA Lyon)
Université de Lyon-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Université Grenoble Alpes (UGA)
Institut Interdisciplinaire d'Innovation Technologique [Sherbrooke] (3IT)
STMicroelectronics [Crolles] (ST-CROLLES)
Source :: Silicon Quantum Electronics Workshop (SiQEW 2019), Silicon Quantum Electronics Workshop (SiQEW 2019), Oct 2019, San Sabastian, Spain
Publication Year :: 2019
Publisher :: HAL CCSD, 2019.
Abstract: International audience

Subjects :: [SPI]Engineering Sciences [physics]
ComputingMilieux_MISCELLANEOUS

Language :: English
Database :: OpenAIRE
Journal :: Silicon Quantum Electronics Workshop (SiQEW 2019), Silicon Quantum Electronics Workshop (SiQEW 2019), Oct 2019, San Sabastian, Spain
Accession number :: edsair.dedup.wf.001..380efdf281da1ea9d5a29ffaa5d26278

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