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Investigation of Defects in 4H-SiC by Synchrotron Topography, Raman spectroscopy Imaging and Photoluminescence Spectroscopy Imaging

Authors :
Michel Pons
Michel Mermoux
Roland Madar
Jean-Marie Bluet
M Anikin
Etienne Pernot
Didier Chaussende
I. El Harrouni
Laboratoire des matériaux et du génie physique (LMGP )
Institut National Polytechnique de Grenoble (INPG)-Institut polytechnique de Grenoble - Grenoble Institute of Technology (Grenoble INP )-Institut de Chimie du CNRS (INC)-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)
Laboratoire de physique de la matière (LPM)
Institut National des Sciences Appliquées de Lyon (INSA Lyon)
Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Université de Lyon-Institut National des Sciences Appliquées (INSA)-Université de Lyon-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)
Laboratoire d'Electrochimie et de Physico-chimie des Matériaux et des Interfaces (LEPMI )
Institut de Chimie du CNRS (INC)-Institut National Polytechnique de Grenoble (INPG)-Institut polytechnique de Grenoble - Grenoble Institute of Technology (Grenoble INP )-Université Joseph Fourier - Grenoble 1 (UJF)-Université Savoie Mont Blanc (USMB [Université de Savoie] [Université de Chambéry])-Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)
NOVASIC
NOVASiC
Laboratoire de thermodynamique et physico-chimie métallurgiques (LTPCM)
Centre National de la Recherche Scientifique (CNRS)-Institut National Polytechnique de Grenoble (INPG)
Source :
Materials Science Forum, Materials Science Forum, Trans Tech Publications Inc., 2003, 433-436, pp. 265-268. ⟨10.4028/www.scientific.net/MSF.433-436.265⟩
Publication Year :
2003
Publisher :
HAL CCSD, 2003.

Abstract

International audience; Reflection synchrotron topography, integrated photoluminescence imaging and Raman spectroscopy imaging have been performed on a 4H-SiC slice. The three methods give complementary information on the defects in the crystal. The differences between the observations are discussed.

Details

Language :
English
ISSN :
02555476 and 16629760
Database :
OpenAIRE
Journal :
Materials Science Forum, Materials Science Forum, Trans Tech Publications Inc., 2003, 433-436, pp. 265-268. ⟨10.4028/www.scientific.net/MSF.433-436.265⟩
Accession number :
edsair.doi.dedup.....07d69bf48761e0f233cc522b165e44fe
Full Text :
https://doi.org/10.4028/www.scientific.net/MSF.433-436.265⟩